[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 R>HY:-2  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 t\%%d)d9  
[T]Bfo  
建模任务 SBL+e]P  
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Ld~q1*7J  
Wn~ZA#  
模拟&设置：单平台互操作性 4 4`WYK l  
建模技术的单平台互操作性 Eu4 &-i  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 Q.E_:=*H  
LihdZ )  

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 平面波光源 ]5)"gL%H`  
 微透镜阵列 `M0YAiG  
 彩色滤光片(吸收介质) v2=/[E@  
 通过基底传播 ,5. <oDH  
 探测 I&\4C.\>  
JhH`uA&  
连接建模技术：微透镜 z<h|#@\  
7UDq/:}Fo  

图片:1-23102621225O05.png

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{G%3*=?,j  
连接建模技术：彩色滤光片 `)2[ST  
])UwC-l  

图片:1-231026220251440.png

@ t|3gF$X  
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^cq~   
连接建模技术：可编程介质 A_i zSzC1  
70=(.[^+  

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fp tIc#4  
l?<q YjI  
连接建模技术：自由空间传播 W0|_]"K-  
F9O`HFVK  

图片:1-231026212P4M8.png

8$m1eQ`{  
B.RRdK+:  
连接建模技术：堆栈 %l;*I?0H  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 J^h'9iQpi  
03F3q4"  

图片:1-231026212S44J.png

y+RRg[6|  
506V0]`/  
 微透镜阵列 B\/7^{i5  
 彩色滤光片(吸收介质) fB7ljg  
 通过基底传播 k:mlt:  
 探测 !xymoiArp  
U3+A MVnB  
元件内场分析器：FMM Pt(tRHB  
LyV#j>gD  

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模拟结果 =Sa~\k+  
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'*ml ?  
像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) 4]EvT=Ro  
u uSHCp  

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.aJ%am/:%  
B*2{M  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) |,{+;:  
|eF.ZC)QWh  

图片:1-2310262131263Q.png

P8IRH#ED  
nNu[c[V  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) 0Gx*'B=  
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M/l95fp  
FCAJavOGH  
3D仿真与结果比较 u]0!|Jd0  
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3D仿真与结果比较 j C9<hLt  
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