[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 `+Nv=vk  
y(DT^>0  

图片:1-231026211SA52.png

"M:ui0YP  
Z`kVyuQ  
近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 ?l~qb]._  
>,,`7%Rv  
建模任务 7)U ik}0  
p-j6H  

图片:1-231026211912255.png

JL {H3r&/S  
E{)X ;kN=  
模拟&设置：单平台互操作性 yV`Tw"p  
建模技术的单平台互操作性 fgqCX:SWz  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 T`^Jws{;7  
+X#6dv$  

图片:1-231026212000Y8.png

,hf W2}  
(c0L@8L  
 平面波光源 E,d<F{=8,o  
 微透镜阵列 w<~[ad}  
 彩色滤光片(吸收介质) !n;3jAl&$  
 通过基底传播 +tk`$g  
 探测 H`M|B<.  
_p"u~j~%-  
连接建模技术：微透镜 t;+b*S6D  
Wu6'm&t  

图片:1-23102621225O05.png

[Q:mq=<Z%  
F=Xb_Gd`  
连接建模技术：彩色滤光片 0to`=;JI  
</'n={+q  

图片:1-231026220251440.png

#6a!OQj  
-0xo6'mD  
连接建模技术：可编程介质 ^/2HH  
T 9`AL  

图片:1-231026212G1G3.png

mxEe -q  
&IXmy-w  
连接建模技术：自由空间传播 .(/HUQn  
E-^(VZ_Xj  

图片:1-231026212P4M8.png

~rb]u Ny-  
Pek[j)g}  
连接建模技术：堆栈 '__>M>[  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 q0q-Coh>  
wdt2T8`I/  

图片:1-231026212S44J.png

+wz1kPRs  
Cgln@Rz  
 微透镜阵列 Y'0
00#+  
 彩色滤光片(吸收介质) 4RctYMz  
 通过基底传播 d
b_Qt'>  
 探测 #)n$Q^9&  
0,-]O=   
元件内场分析器：FMM 9_
==C"F  
{Y/0BS2D  

图片:1-231026212931494.png

6Br^Ugy  
hlreeXv  
模拟结果 =^p}JhQ  
2ZV; GS#  
像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) {k=3OIp  
t{B@k[|  

图片:1-231026213023c5.png

#qk=R7"Q  
MA_YMxP.'  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) VMF?qT3Nd  
Q7e4MKy7  

图片:1-2310262131263Q.png

q.R(>Zc
V  
#
|8%
h  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) vn*K\,  
DZmVm['l  

图片:1-231026213156124.png

> dVhIbG  
.Y2H
d$rs  
3D仿真与结果比较 q_^yma  
@C^x&Sjm  

图片:1-231026213221N4.png

mW{uChHP  
@"
h4S*U  
3D仿真与结果比较 iVnMn1h  
lO|LvJyx  

图片:1-231026213249293.png