[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 X\YeO>C  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 N8mK^{  
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建模任务 :Eob"WH  
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模拟&设置：单平台互操作性 )ns;S  
建模技术的单平台互操作性 2gFQHV  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 } 10Dvt>+  
R?]>8o,  

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B;rq{ac!P]  
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 平面波光源 !0zM@p  
 微透镜阵列 4NbC V)Dm  
 彩色滤光片(吸收介质) Y3-15:-  
 通过基底传播 %`gqV9a  
 探测 8@Y@5)Oc  
V#sANi?mpo  
连接建模技术：微透镜 -pLb%f0?  
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n){\KIU/O  
!X#=Pt[,  
连接建模技术：彩色滤光片 1M<'^(t3d  
[%3{mAd  

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"w|GIjE+  
连接建模技术：可编程介质 r2H]n.MT  
4\-kzGgmo  

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HK ;C*;vC%  
连接建模技术：自由空间传播 =I*"vwc?  
zJ@f {RWZa  

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LR`/pet  
连接建模技术：堆栈 >\VZ9bP<   
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 WlG/7$  
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WRD^S:`BH  
R=PjLH&)  
 微透镜阵列 w`i3B@w  
 彩色滤光片(吸收介质) \d v9:X$  
 通过基底传播 {L.0jAwB  
 探测 Na[bCt  
o>j3<#?  
元件内场分析器：FMM GKm)wOb(*S  
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模拟结果 S* <:He&1  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) ]Ub?Wo7F?  
~2=B:;  

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Jd)|==yD  
[?]s((A~B  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) ?;}2Z)  
{t9'8
R3  

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C+2
*m=r  
8<IOX  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) `ZNzDr  
?$8OVq.w,  

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3D仿真与结果比较 =[vT=sHz7  
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3D仿真与结果比较 Pm V:J9  
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