[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 d#:7V%]dp  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 c='uyx  
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建模任务 hf5+$^RZ  
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模拟&设置：单平台互操作性 B0m2SUC,H  
建模技术的单平台互操作性 'J_6SD  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 %!OA/7XbG  
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 平面波光源 b@9d@@/wx  
 微透镜阵列 O{wt0 \P  
 彩色滤光片(吸收介质) Jv59zI  
 通过基底传播 !5K5;M_Ih"  
 探测 @^,9O92l  
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连接建模技术：微透镜 )CG,Udu  
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连接建模技术：彩色滤光片 #>O+!IH
 
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连接建模技术：可编程介质 #NQx(C  
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连接建模技术：自由空间传播 =90)=Pxd  
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连接建模技术：堆栈 "T' QbK
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在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 =4L
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 微透镜阵列 <L:}u!  
 彩色滤光片(吸收介质) eRB K= X  
 通过基底传播 K# BZ Jcb  
 探测 h:{^&d a  
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元件内场分析器：FMM =|
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模拟结果 1|oE3  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) +=#@1k~  
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Mb(hdS90  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) UOkVU*{  
K<?[^\  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) $fQ'q3  
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3D仿真与结果比较 o5<w2(  
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3D仿真与结果比较 tS6r4d%~=  
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