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    [技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-11-06
    摘要 K_Y0;!W  
    Au#(guvm  
    Cq !VMl>hP  
    |iLeOztuE  
    近几十年来,CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm,甚至更小。通过减小像素尺寸,可以获得更高的空间分辨率。同时,这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中,我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真,以验证微透镜的有效性。 {G&K_~Vj  
    z(g4D!  
    建模任务 Ec8Y}C,{7<  
    eqD%Qdx  
    }/x `w  
    FfI $3:9  
    模拟&设置:单平台互操作性 QKCc5  
    建模技术的单平台互操作性 Ik>sd@X*|  
    模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术,这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 ppR~e*rv-  
    @{@x2'-A  
    8'Xpx+v  
    93kSBF#  
     平面波光源 @za?<G>!'e  
    微透镜阵列 ']u w,b  
     彩色滤光片(吸收介质) 7F4$k4r<  
     通过基底传播 $ Etf'.  
     探测 (+4gq6b  
    {{ R/:-6?@  
    连接建模技术:微透镜 K*'(;1AiW  
    t&mw@bj  
    bICi'`  
    A~\:}P N  
    连接建模技术:彩色滤光片 igOjlg_Q  
    p W:[Q\rSj  
    3xsC"c>  
    .oO_x>  
    连接建模技术:可编程介质 :)g=AhBF  
    <uU AAHi  
    B*zb0hdo:  
    !R//"{k0?  
    连接建模技术:自由空间传播 Sl:Qq!  
    6>%)qc$i  
    }LM^>M%  
    |ZJ]`qmZ  
    连接建模技术:堆栈 m qPWCFP  
    在VirtualLab Fusion中,堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中,可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意,整个堆栈使用了相同的建模技术。 1e'-rm F  
    Rr^<Q:#"<|  
     M)Yu^  
    qe"5&cc1  
     微透镜阵列 B:n9*<v(  
     彩色滤光片(吸收介质) -F4CHpua  
     通过基底传播 ?%JH4I2  
     探测 s_.q/D@vu  
    TiCp2Rsz  
    元件内场分析器:FMM U2ecvq[T  
    uCNQ.Nbf C  
    r@e_cD] M  
    G( nT.\  
    模拟结果 A>%fE 6FY  
    n~8-+$6OR  
    像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) \$VtwVQ,b  
    {3$ge  
     |}QDC/  
    er+m:XuV  
    像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) 6^mO<nB   
    A0oC*/  
    JXftQOn  
    lk}R#n$  
    像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) ^gw_Up<e6  
    Dd!MG'%hlb  
    @xtcjB9  
    Vhz?9i6|g^  
    3D仿真与结果比较 VpWax]'  
    l#~Sh3@L(  
     n1y#gC  
    za<Ja=f9X  
    3D仿真与结果比较 2~2  
    UB.FX  
     
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