[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 o1"MW>B,4  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 ?2b*FQe  
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建模任务 _z<y]?q  
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模拟&设置：单平台互操作性 0{/P1  
建模技术的单平台互操作性 l;I)$=={=  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 ==[a7|q  
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 平面波光源 ,haCZH{  
 微透镜阵列 btC0w^5  
 彩色滤光片(吸收介质) rRN7HL+b  
 通过基底传播 K; 7o+Xr  
 探测 Mt@
P}4  
u;xl}  
连接建模技术：微透镜 Kp+Lk  
(GVH#}uB  

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l^s\^b
=W  
连接建模技术：彩色滤光片 ?NZKu6  
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8KioL{h  
连接建模技术：可编程介质 %rpJZ t  
fX,L;Se"  

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x(/KHpSWK  
Yq;|Me{h  
连接建模技术：自由空间传播 'E2\e!U/  
,O@xv
 

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m@hmu}qz-  
&C eG4_Mi  
连接建模技术：堆栈 
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在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 =qY!<DB[L  
!c`KzqP  

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VZ?"yUZ Id  
 微透镜阵列 H+:SL $+<o  
 彩色滤光片(吸收介质) fUh7PF%
 
 通过基底传播 VJ`c/EVIt  
 探测 Vy-EY*r|  
mC P*v-  
元件内场分析器：FMM H[ 6L!  
4J=6A4O5Z  

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%RE-_~GF  
模拟结果 <#U9ih 2  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) O2|[g8(_F  
z~TG~_s  

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En:.U9?X  
E,I*E{nd9  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) s? /#8 `  
-@49Zh2'  

图片:1-2310262131263Q.png

RbUhLcG5  
box(FjrZE  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) ?*i qg[:  
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3D仿真与结果比较 )D ^.{70N  
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