[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 kJNwA8 7  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 es=OWJt^  
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建模任务 J(wFJg\/  
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模拟&设置：单平台互操作性 n+i=Ff  
建模技术的单平台互操作性 #3'M>SaoH  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 |{_>H'  
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 平面波光源 zgH*B*)bj  
 微透镜阵列 Ndgx@LTQQ  
 彩色滤光片(吸收介质) 5Z6MQ`(k  
 通过基底传播 mVh;=>8K  
 探测 IOY7w"|LW  
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连接建模技术：微透镜 -|>T? t'K  
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连接建模技术：彩色滤光片 x}
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连接建模技术：可编程介质 >}W[>WReI  
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R^P>yk8  
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连接建模技术：自由空间传播 CH;U_b  
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CjP<'0gT  
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连接建模技术：堆栈 I0z7bx  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 \g h |G  
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 微透镜阵列 G -+!h4p  
 彩色滤光片(吸收介质) 7]ysvSM  
 通过基底传播 /]MelW  
 探测 GQ>0E  
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元件内场分析器：FMM j%^4 1y  
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模拟结果 .g\Oj0Cbxh  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) N&?V=X  
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T,1qR:58  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) ,w H~.LHi  
]a4+]vLK  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟)  gu[
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3D仿真与结果比较 4n7Kz_!SVf  
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3D仿真与结果比较 'ET];iZ2  
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