[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 V|A.M-XLv4  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 V}vL[=QFZ(  
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建模任务 cq]0|\Vz  
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ZuWhgnp  
模拟&设置：单平台互操作性 mx1Bk9h%Xe  
建模技术的单平台互操作性 &OFVqm^  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 >9XG+f66E  
m.6uLaD"!}  

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 平面波光源 !M}-N  
 微透镜阵列 _\+0e:Ae  
 彩色滤光片(吸收介质)
#2\M(5d  
 通过基底传播 `r&Ui%fk;0  
 探测 9(X~  
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连接建模技术：微透镜 wmK;0 )|H  
zZ9Ei-Q  

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r_ m|?U %  
连接建模技术：彩色滤光片 h+dk2|a  
,]qc#KDq-1  

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'M?pg$ta_V  
连接建模技术：可编程介质 8DD1wK\U~  
?st}rJ_  

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连接建模技术：自由空间传播 WSF$xC/~  
/Re67cMQ*  

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}#g &l*P  
kVeY} 8  
连接建模技术：堆栈 "a _S7K  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 Ozulp(8*  
Ir` l*:j$  

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vGH]7jht  
]We0 RD"+  
 微透镜阵列 !#5y%Bf  
 彩色滤光片(吸收介质) 6P9#6mZ  
 通过基底传播 !oRN,m[7)p  
 探测 }f{5-iwD}  
S=L#8CID  
元件内场分析器：FMM blG?("0!  
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_5W  

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模拟结果 2c,w 4rK  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) MD0d  
bLggh]Fh  

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<g&GIFE,  

KI\ 9)  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) 'L1y
Fv  
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G1R><8[  

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EcR[b@YI  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) 925T#%y  
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3D仿真与结果比较 21?>re
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3D仿真与结果比较 c!$~_?]  
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