[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 N*[b26  
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P@bPdw!JA  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 K/(QR_@?  
W2%@}IDm  
建模任务 Ugo!  
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模拟&设置：单平台互操作性 {\k }:)  
建模技术的单平台互操作性 #Mk3cp^Yl  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 k&L/JzzI  
G]$EIf'  
d=D#cs;\  
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 平面波光源 +2tFX  
 微透镜阵列 Af@\g-<W_  
 彩色滤光片(吸收介质) Z{t `f[  
 通过基底传播 TC2%n\GH*  
 探测 0s Jp,4Vv  
p,f$9t4  
连接建模技术：微透镜 :,yC\,H^  
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=[:E  
kVCWyZh4  
连接建模技术：彩色滤光片 _Wk*h}x  
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MSBrI3MqQ  
连接建模技术：可编程介质 G$KQgUN~[  
vgDpo@fz8  
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RX_f[  
连接建模技术：自由空间传播 SmvMjZ+7Y  
j[mII5e7g  
-{C Gn5]_#  
4i&Rd1#0dI  
连接建模技术：堆栈 +e.w]\}  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 *_J{_7pwe  
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x)N QRd  
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 微透镜阵列 ] >w@@A  
 彩色滤光片(吸收介质) 8D@
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 通过基底传播 A)j!Wgs^z  
 探测 L^Q;M,.c;  
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元件内场分析器：FMM 8=joVbs  
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{N/%%O.b  
模拟结果 4G&dBH  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) %Pt){9b  
SUUN_w~  
PcU~1m1  
650qG$  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) :N$-SV  
kC 6*An_f  
324XoMO  
"opMS/a"7  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) +FqE fY4j  
Fr  
|C<#M<  
lG94^|U  
3D仿真与结果比较 emnT;kJ>  
+s"6[\H1d  
>,]8iMh  
PS[ C!s&KE  
3D仿真与结果比较 (4A'$O2  
DR:$urU$