摘要 K_ Y0;!W
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!VMl>hP |iLeOztuE 近几十年来,
CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm,甚至更小。通过减小像素尺寸,可以获得更高的空间
分辨率。同时,这也给每个像素上微
透镜的功能带来了问题。在本例中,我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行
仿真,以验证微透镜的有效性。
{G&K_~Vj z(g4D! 建模任务 Ec8Y}C,{7<
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}/x `w FfI$3:9 模拟&设置:单平台互操作性 QKCc5 建模技术的单平台互操作性 Ik>sd@X*| 在
模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对
系统的每个部分使用不同的建模技术,这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。
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93kSBF# 平面波
光源 @za?<G>!'e
微透镜阵列 ']u w,b 彩色滤光片(吸收介质)
7F4$k4r< 通过基底传播
$Etf'. 探测
(+4gq6b {{ R/:-6?@ 连接建模技术:微透镜 K*'(;1AiW t&mw@bj
bICi'` A~\:}PN 连接建模技术:彩色滤光片 igOjlg_Q p
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3xsC"c> .oO_x> 连接建模技术:可编程介质 :)g=AhBF
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B*zb0hdo: !R//"{k0? 连接建模技术:自由空间传播 Sl:Qq! 6>%)qc$i
}LM^>M% |ZJ]`qmZ 连接建模技术:堆栈 m qPWCFP 在VirtualLab Fusion中,堆栈是配置具有小特征尺寸和距离
结构的一种便捷的方法。在这些容器中,可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意,整个堆栈使用了相同的建模技术。
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