[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 hkL[hD  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 3_tO  
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建模任务 eqze7EY  
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模拟&设置：单平台互操作性 [UHDN:y  
建模技术的单平台互操作性 JOIbxU{U_  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 T+[N-"N  
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 平面波光源 fH7o,U|  
 微透镜阵列 3J{`]v5`  
 彩色滤光片(吸收介质) XK>/i}y  
 通过基底传播 t>T |\WAAL  
 探测 ToN$x^M w  
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连接建模技术：微透镜 !s]LWCX+|  
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连接建模技术：彩色滤光片 e/m,PE  
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连接建模技术：可编程介质 Rt<8&.m4  
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连接建模技术：自由空间传播 |Y!#`  
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连接建模技术：堆栈 z1ltc{~Z  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 g@.RfX=  
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 微透镜阵列 '@u/] ra:  
 彩色滤光片(吸收介质) tqE LF  
 通过基底传播 V$+xJ  m  
 探测 })|+tZ  
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元件内场分析器：FMM +'?p $@d  
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模拟结果 l'(Cxhf.W  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) {
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) )kl| 5i  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) ?^us(o7-  
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3D仿真与结果比较 G.O0*E2V  
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3D仿真与结果比较 Y2j>lf?8  
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