[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 !+z^VcV  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 -e_TJA  
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建模任务 +oO7UWs>6  
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模拟&设置：单平台互操作性 Q*1'k%7  
建模技术的单平台互操作性 4${3e Sg_  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 Ygkf}n  
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 平面波光源 0pW;H|h  
 微透镜阵列 _dCDT$^&r  
 彩色滤光片(吸收介质) f?GoBh<  
 通过基底传播 XkoPN]0n  
 探测 Bz>f  
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连接建模技术：微透镜 ZF#n(Y?  
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连接建模技术：彩色滤光片 g+Q
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连接建模技术：可编程介质 .'38^  
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连接建模技术：自由空间传播 wTZ(vX*mK  
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连接建模技术：堆栈 \Zx&J.D  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 _nxu8g]  
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 微透镜阵列 4tUt"N  
 彩色滤光片(吸收介质) 8Exky^OT|  
 通过基底传播 t>*(v#WeZ  
 探测 V\r{6-%XiW  
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元件内场分析器：FMM h?B1Emlq  
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模拟结果 gYk5}E-  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) \{~CO{II  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) .j|uf[?h  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) 98?O[=  
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3D仿真与结果比较 Jq?zr]"A  
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3D仿真与结果比较 afD {w*[8  
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