[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 l9 |x7GB  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 l{{wrU`  
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建模任务 y,*>+xk,  

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模拟&设置：单平台互操作性 v%e-vl  
建模技术的单平台互操作性 WB=pRC@  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 G2nL#l~@)  
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 平面波光源 @R|Gz/  
 微透镜阵列 Ua@rp3fr  
 彩色滤光片(吸收介质) b,
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 通过基底传播 cdDMV%V  
 探测 Zm:Wig ,a  
,u^S(vxyz  
连接建模技术：微透镜 x=>+.'
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连接建模技术：彩色滤光片 yW$ja|^E  
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连接建模技术：可编程介质 P}%0YJ$6  
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u#8J`%g  
连接建模技术：自由空间传播 (O N \-*  
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pr|P#mc"J  
eB:OvOol*^  
连接建模技术：堆栈 &=sVq^d@qe  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 -}lcMZY  
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 微透镜阵列 rx*1S/\PPc  
 彩色滤光片(吸收介质) ) 0x*>;"o  
 通过基底传播 3dnL\AqC  
 探测 xg}RpC!  
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元件内场分析器：FMM 41<.e`{  
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模拟结果 gY], (*v  

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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) ()}B]?  
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P!C!E/Jf5  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) &z-f,`yG  
\o^M,yI  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) ?-,v0#  
P-L<D!25  
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3D仿真与结果比较 (9h{7<wD`  
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3D仿真与结果比较 Urhh)i  
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