[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 ,X6.p  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 D6Ov]E:fa  
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建模任务 jM1|+o*Wr  
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Ni IX^&N1  
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模拟&设置：单平台互操作性 3$+|nP:U  
建模技术的单平台互操作性 +GMM&6<  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 ,c_[`q\  
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 平面波光源 B]]_rl,  
 微透镜阵列 5o\yhYS:  
 彩色滤光片(吸收介质) ~]?Q'ER  
 通过基底传播 ^.j
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 探测 YhFB*D;  
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连接建模技术：微透镜 y]eH@:MJ;A  
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连接建模技术：彩色滤光片 Q)yhpwrX  
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连接建模技术：可编程介质 69(
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连接建模技术：自由空间传播 nab:y(]$/  
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连接建模技术：堆栈 a?E]-Zf  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 Lhu2;F\/  
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 微透镜阵列 2qKo|'gL`  
 彩色滤光片(吸收介质) <I'kJ{"
 
 通过基底传播 !cT#G  
 探测 w(n&(5FzB<  
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元件内场分析器：FMM Z'<=06  
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模拟结果 %yJL-6U  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) d6,%P6  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) Y'Sxehx  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) g}|a-  
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3D仿真与结果比较
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3D仿真与结果比较 UP 1Y3  
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