[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 Fl(ZKpSZU  
Tf]VcEF  
VQJ5$4a&  
Qz90 mb  
近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 oM7-1O  
OpX  
建模任务 -Y,Ibq  
Yy:sZJ  
2F)OyE  
HDG"a&$   
模拟&设置：单平台互操作性 Y7I  
建模技术的单平台互操作性 Yy;1N{dbT  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。
C2%3+  
6B P%&RL  
F,$$N>  
8pKPbi;(2  
 平面波光源 IaqN@IlWb  
 微透镜阵列 y,eoTmaI  
 彩色滤光片(吸收介质) e/~<\  
 通过基底传播 r,@|Snv)  
 探测 g(/O)G.  
=7Gi4X%  
连接建模技术：微透镜 3JO:n6  
XSIO0ep  
Wl"fh_  
^Q:`2C5  
连接建模技术：彩色滤光片 3]82gZGG  
Z.f<6<gF  
8#3cmpx4  
m/c~2?-;  
连接建模技术：可编程介质 _C\ d^a(  
SQCuY<mD  
D#(Pg  
q"vT]=Y}:  
连接建模技术：自由空间传播 #!<s& f|O  
Gs?sO?j  
[_GR'x'0x  
6iS+3+  
连接建模技术：堆栈 x?$Y<=vT  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 g4932_tC  
rV{e[fGd  
ZACn_gd[5  
wn.0U  
 微透镜阵列 unB "dE  
 彩色滤光片(吸收介质) SQRz8,sqkw  
 通过基底传播 Msdwv.jM  
 探测 g[Y$SgJ  
cA^7}}?e  
元件内场分析器：FMM 7E]l
=Z`x  
5rhdm?Ls0  
L3Iz]D3s  
T{Q&}`D)r  
模拟结果 l0,O4k2'  
N($]))~3&  
像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) aesFv)5DK  
j|w+=A1  
|1x,_uyQ%  
79fg%cSb  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) nhxl#  
6<GWDO  
;bbEd'  
rJxT)bR  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) m]vr|:{6/  
1A *8Jnw  
CbQ%[x9|  
c}cboe2  
3D仿真与结果比较 [O'p&j@  
sJvn#cS  
suSIz 7:  
MS)bhZ
vO  
3D仿真与结果比较 pu#<qD*w  
Xs
CbA8Qv