[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 _(A+_|  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 |^9ig_k`  
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建模任务 q9Opa2  
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模拟&设置：单平台互操作性 U=1`. Ove  
建模技术的单平台互操作性 3ncvM>~g  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 |4*2xDcl  
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 平面波光源 NGD2z.  
 微透镜阵列 +P;D}1B#I?  
 彩色滤光片(吸收介质) g.VIe  
 通过基底传播 5|={1Lp24g  
 探测 &WV 9%fI  
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连接建模技术：微透镜 +}Wo=R
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连接建模技术：彩色滤光片 ':>*=&  
S#z8H+'  

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连接建模技术：可编程介质 :iC\#i]6  
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c|a|z}(/J  
连接建模技术：自由空间传播 ]xeyXw84k  
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连接建模技术：堆栈 7VBw@Rh  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 HcUz2Rm5XP  
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 微透镜阵列 a<36`#N  
 彩色滤光片(吸收介质) i^KYZ4/%  
 通过基底传播 p&M'DMj+  
 探测 zUu>kJZ  
pU'sADC  
元件内场分析器：FMM +# >%bq x  
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模拟结果 ><7`$2Or  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) a];g  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) <\mc|p"  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) ,]"u!,yHb  
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3D仿真与结果比较 t"Hrn3w  
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3D仿真与结果比较 qm8
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