[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 \C eP.,<  
D`C#O 7.N  

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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 Fo@cz"%  
32KL~32Y  
建模任务 |NoTwK  
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Y&JK*d  
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模拟&设置：单平台互操作性 "-HmXw1+t  
建模技术的单平台互操作性 YN>k5\M_v  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 sN%#e+(=  
p3R: 3E6p  

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 平面波光源 xG|T_|?  
 微透镜阵列 Nt5`F@;B  
 彩色滤光片(吸收介质) OqcM3#  
 通过基底传播 4' MmT'  
 探测 0`D` Je<t  
pi|P&?yw  
连接建模技术：微透镜 ?!B
f# "TY  
+91j 1?  

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b)1v:X4Bv=  
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连接建模技术：彩色滤光片 k6b0&il  
f+K vym.  

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o&Vti"fpC  
bh&Wy<Y  
连接建模技术：可编程介质 W3.(s~)o  
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VwJr""+  

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连接建模技术：自由空间传播 , A@uSfC(  
<QcQ.b  

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d)yu`U  
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连接建模技术：堆栈 tzn+ M0'  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 [)wLj
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 微透镜阵列 "AcC\iq  
 彩色滤光片(吸收介质) Q%*987i  
 通过基底传播 )oU%++cdo  
 探测 I)YUGA5  
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元件内场分析器：FMM )d$FFTH  
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模拟结果 ;.'\8!j  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) ;rqW?':(i  
FMNT0  

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k+5l  
y:Ne}S*ncE  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) N}\%r&KR=  
W_bp~Wu  

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ARd*c?Om  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) \0,8?S  
nQaryL  

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3D仿真与结果比较 r>;(\_@  
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3D仿真与结果比较 b'1m 9T780  
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