[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 oy'Q#!  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 nm*!#hx  
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建模任务 Y#c11q
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模拟&设置：单平台互操作性 Jug1Va<^c  
建模技术的单平台互操作性 p]:~z|.Ba  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 pF.Ws,nQ5  
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 平面波光源 pi5Al)0  
 微透镜阵列 L.15EXAB  
 彩色滤光片(吸收介质) 4aAr|!8|h!  
 通过基底传播 T}P|uP  
 探测 SV]M]CAe  
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连接建模技术：微透镜 @l&5 |Cia  
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连接建模技术：彩色滤光片
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连接建模技术：可编程介质 P _Zf(`jJ  
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连接建模技术：自由空间传播 6%ID*  
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连接建模技术：堆栈 nI.#A  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 Qoq@=|7kxa  
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 微透镜阵列 Bi kCjP[b  
 彩色滤光片(吸收介质) Qkqn~>  
 通过基底传播 f]5bAs  
 探测 QsDab4  
H:9( XW  
元件内场分析器：FMM fdd3H[  
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模拟结果 :n'QNGj  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) sNX$ =<E  
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R) @k|  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) TmX~vZ  
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D9H|]W~  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) ^n]tf9{I  
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3D仿真与结果比较 8CA4gnh  
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3D仿真与结果比较 "5dh]-m n  
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