[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 Yw(O}U 5e  
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MoZ8A6e?B  
近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 DbWaF5\yD  
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建模任务 LA]UIM@  
u_HCXpP!Q  

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w%1-_;.aU6  
mV'-1  
模拟&设置：单平台互操作性 8AVtUU  
建模技术的单平台互操作性 b^:frjaE3  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 %ZsdCQc{`  
prEI9/d"  

图片:1-231026212000Y8.png

SPT?Tt  
5[y+X|Am  
 平面波光源 xs6kr  
 微透镜阵列 O70#lvsM;  
 彩色滤光片(吸收介质) |b4f3n  
 通过基底传播 :al ,zxs  
 探测 BgT(~8'  
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连接建模技术：微透镜 0qq
>(K[  
.~C%:bDnX7  

图片:1-23102621225O05.png

_WR/]1R  
d#HlO}  
连接建模技术：彩色滤光片 Hqtv`3g  
I!#WXK  

图片:1-231026220251440.png

4,08`5{  
6e S~*  
连接建模技术：可编程介质 _T_6Yl&cf)  
v@4vitbG9  

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naM~>N  
连接建模技术：自由空间传播 S5kD|kJ  
\Q^grX  

图片:1-231026212P4M8.png

,^7]F"5
 
UhJ{MUH`  
连接建模技术：堆栈  =W&m{F96  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 (*b<IGi;  
.4ZOm'ko{  

图片:1-231026212S44J.png

/M JI^\CA  
JVGTmS[3  
 微透镜阵列 !"o\H(siT  
 彩色滤光片(吸收介质) `kE7PXqa  
 通过基底传播 r\cY R}v  
 探测 7l ,f  
@q`T#vd  
元件内场分析器：FMM
PD^G$LT  
;l1.jQh  

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Z\]{{;%4b7  
[?hvx}  
模拟结果 (@qPyM6~}  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) C\joDAD  
OR*JWW[]  

图片:1-231026213023c5.png

0}"\3EdAbD  
,Tu.cg  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) .k-6LR  
L ph0C^8  

图片:1-2310262131263Q.png

gS'7:UH,
  
o[}Dj6e\t  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) .drY  
6T|Z4f|  

图片:1-231026213156124.png

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3D仿真与结果比较 6dmb bgO)  
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3D仿真与结果比较 VBQAkl?(}4  
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