[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 Q52bh'cuU  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 \ V?I+Gc  
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建模任务 [YE?OQ7
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5hz_P+Q  

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模拟&设置：单平台互操作性 )7AM3%z1?  
建模技术的单平台互操作性 4J}3,+  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 Tf[dZ(+\  
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图片:1-231026212000Y8.png

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 平面波光源 6[+j'pW?  
 微透镜阵列 (9
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 彩色滤光片(吸收介质) hS_.l}0yf  
 通过基底传播 s41adw>  
 探测 rKIRNc#d  
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连接建模技术：微透镜 m1y `v"  
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连接建模技术：彩色滤光片 0_HJ.g!  
JMePI%#8  

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PW)8aLU  
连接建模技术：可编程介质 pN+I]NgQ  
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y#e ?iE@  
连接建模技术：自由空间传播 M:(&n@e  
CjV7q y  

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连接建模技术：堆栈 z}3di5+P  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 Z9f/-|r5  
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图片:1-231026212S44J.png

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 微透镜阵列 MYu`c[$jZ  
 彩色滤光片(吸收介质) O
$U}d-Xnx  
 通过基底传播 "u5KbJW  
 探测 xyvND  
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元件内场分析器：FMM X98#QR#m  
Cy6%S).c
 

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0}D-KvjyP  
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模拟结果 Nuo^+z E  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) nfa_8  

0W_mCV  

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C$t.C rxx  
qL,ka  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) [bsXF#  
re/xs~  

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.Nk}Z9L]k  
},v&rkwR  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) G"{4'LlA  
e) ]RA?bF  

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D/cg7  
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3D仿真与结果比较 ,!r@9T  
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3D仿真与结果比较 t@6w$5:}  
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