[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 

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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 R')D~JJ<8a  
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建模任务 efK
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模拟&设置：单平台互操作性 ^KKU@ab9  
建模技术的单平台互操作性 I3{koI  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 pPC_ub  
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 平面波光源 h1y6`m9  
 微透镜阵列 86]})H  
 彩色滤光片(吸收介质) r`; "  
 通过基底传播 ^KBE2C  
 探测 UL46%MFQ\  
P ~pC /z  
连接建模技术：微透镜 SP&Y|I$:  
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连接建模技术：彩色滤光片 h`_@eax  
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连接建模技术：可编程介质 m((A  
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连接建模技术：自由空间传播 x vi&d1  
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连接建模技术：堆栈 c|kQ3(  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 ,u^RZ[}  
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 微透镜阵列 aCL_cVOMR  
 彩色滤光片(吸收介质) 2EHe
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 通过基底传播 ~7N>tjB  
 探测 D^E+#a 1  
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元件内场分析器：FMM Jkc1ih`^  
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^'g1? F$_  
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模拟结果 W|go*+`W%
 
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) HuX{8nla  
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p'`SYEY@Z  
rA*"22v=  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) G8JwY\  
. PzlhTL7  

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"hwG"3n1  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) )N) "O? W9  
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3D仿真与结果比较 YWfw%p?n"  
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3D仿真与结果比较 k)2L<Lmn  
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