[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 Kac j  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 /E  yg*#  
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建模任务 Rc.<0#  
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模拟&设置：单平台互操作性 ^?.:}  
建模技术的单平台互操作性 ~aR='\<  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 +FKP5L
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a.U:B [v`  

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 平面波光源 `L[32B9
  
 微透镜阵列 KA{DN!  
 彩色滤光片(吸收介质) 714nUA872  
 通过基底传播 h|uP=0   
 探测 M|kDys  
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连接建模技术：微透镜 AdS
_-Cm  
&EJ,k'7$  

图片:1-23102621225O05.png

GZ[h`FJg/  
x4A~MuGU  
连接建模技术：彩色滤光片 N$a-i  
_,1kcDu  

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n~i4yn=  
连接建模技术：可编程介质 `*9FKs  
SK}g(X7IWH  

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%=O!K>^vt<  
连接建模技术：自由空间传播 @O0vh$3t0  
iKH T  

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连接建模技术：堆栈 y]r~v  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 jy|xDQ  
`a-T95IFy  

图片:1-231026212S44J.png

HZ4 ^T7G  
Q>g$)-8  
 微透镜阵列 "8TMAF|i4  
 彩色滤光片(吸收介质) J` --O(8Ml  
 通过基底传播 Ijro;rsEKM  
 探测 *G|]5  
Guc^gq}  
元件内场分析器：FMM /j\TmcnU^  
qc"/T16M]  

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3o/a8  
模拟结果 E004"E<E  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) k6XmBBIj-  
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图片:1-231026213023c5.png

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6T_c#G5  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) *0ntx$M-w  
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${eh52)`  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) +mv%z3"j;  
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S|w] Q  
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3D仿真与结果比较 Z}StA0F_  
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3D仿真与结果比较 hIr^"kVK  
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