[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 @vaK-&|#$  
eg-,;X#  
jxr~cp?4  
amIG9:-1'  
近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 g%Ap<iT  
/E@|  
建模任务 T0Q)}%L  
m$:o+IH/  
2, ` =i
 
eUA6X ,I  
模拟&设置：单平台互操作性 .4~n|d>z  
建模技术的单平台互操作性 TCFx+*fBd  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 =x~HcsJ8!R  
_{6QvD3kg.  
g~Zel}h#  
W^q;=D6uh  
 平面波光源
Z!m0nx  
 微透镜阵列 &/4W1=>(  
 彩色滤光片(吸收介质) 4*_9Gl
 
 通过基底传播 ,&!Txyye  
 探测 40oRO0p  
n=n!Hn  
连接建模技术：微透镜 ]w(i,iJ  
9Ay*'   
a
yuj)]b  
RJ1Q.o  
连接建模技术：彩色滤光片 v3Y/D1jd"  
d:6?miMH]t  
1_!*R]aq  
70l"[Y  
连接建模技术：可编程介质 2`Xy}9N/Y  
{SW}S_  
J A ]s  
u~6`9'Ms  
连接建模技术：自由空间传播 =)(o(bfSKr  
GM{m(Y  
`
ej  
_gjsAbM  
连接建模技术：堆栈 |Z<NM#1  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 yK<%AV@v  
H~1*`m  
A
q}]{gfQ1  
s2Ivd*=mT  
 微透镜阵列 e;R
5A6|  
 彩色滤光片(吸收介质) ~fn2B  
 通过基底传播 `AeId/A4n  
 探测 1K&z64Q5J  
q-3%.<LL  
元件内场分析器：FMM -4o6OkK<  
[>Kkj;*  
<XX\4[wb  
)R+@vh#Q<$  
模拟结果 Qi#%&Jz>f  
M;={]w@n  
像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) {n=)<w  
cOthq87:  
!-%i" a  
ZkkXITQkPM  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) 1g5%Gr/0$5  
IY?[0S  
gX5I`mm  
2c@R!*  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) c%
r?tKG6  
`h/j3fmX?  
C] qY  
wP-
pFc  
3D仿真与结果比较 hV])\t=yf  
7OYNH0EH  
k5]s~*,0  
Z!60n{T79c  
3D仿真与结果比较 | Uf6k`  
8Br*