[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 G()- NJ{  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 %kg%ttu7  
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建模任务 Yy"05V.  
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模拟&设置：单平台互操作性 B0^0d*8t|@  
建模技术的单平台互操作性 'b* yYX<  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 b]NSCu*)s  
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 平面波光源 cIO7RD$8  
 微透镜阵列 ]tVU$9D   
 彩色滤光片(吸收介质) dfDz/sD*  
 通过基底传播 @Ee'nP   
 探测 IR+dGqIjZb  
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连接建模技术：微透镜 eoS8e$}  
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连接建模技术：彩色滤光片 d (Fb_  
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连接建模技术：可编程介质 K.Tfu"6  
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连接建模技术：自由空间传播 af61!?K  
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连接建模技术：堆栈 m ?a&XZ  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 ?v>!wuiP  
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 微透镜阵列 "r!O9X6  
 彩色滤光片(吸收介质) 1f]04TI  
 通过基底传播 ~Cx07I_lf  
 探测 L\Uf+d:&}G  
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元件内场分析器：FMM l@a>"\><i*  
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模拟结果 _uuxTNN0x*  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) 5Xu2MY=  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) |1zoT|}q  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) ~6z<tyD^  
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3D仿真与结果比较 f"zXiUV  
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3D仿真与结果比较 TU4"7]/{M  
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