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摘要 "V`5 $ur *tfD^nctO dOVu D( ?2,{+d | 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 PR7B
Cxm [l}H%S 建模任务 $f=6>Kn|^] C!U$<_I\2 9XhcA B Q2N_*v 由于组件倾斜引起的干涉条纹 L_q3m-x0h LfN,aW CU:HTz= <R?S 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 #gVWLm< }#S1!TU
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