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摘要 xZ }1dq8 ~r6qnC2 w%&lCu@v hmv"|1Sa!~ 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 ({g7{tUy^H 1CFTQB > 建模任务 8*;88vW"2 TOp|Qtn &y/ 4i>sOP3
B 由于组件倾斜引起的干涉条纹 ^~k2(DLk P)Vm4u
1 y-qbK0=X4 RfVVAaI 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 i>w'$ { K
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