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摘要 , Fytk34 h-'wV${b \K`jCsT YQ,tt<CQ 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 M4<+%EV} }bfn_ G 建模任务 ch,| 1}bi r<FQX3 aV|k}H{wt ^LO]Z 由于组件倾斜引起的干涉条纹 `Wf5 q`loOm=y G\/IM {,V$* 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 q,,j',8kq/ T]2U fi.
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