摘要 J5r
L7
{~
vPq
(>/Dw|,m
+r34\mAO
干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 ieK'<%dxF
@eD2<e
建模任务 l'X?S(fiV
_[6+FdS],
m_Y}>
~s^6Q#Z9|
由于组件倾斜引起的干涉条纹 i2 Iu2
.m
% x-i
dXr
!_)i
Tlv|To
由于偏移倾斜引起的干涉条纹 &qj&WfrB,
d(cYtM,P