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摘要 3'*%R48P` x2;i<
| /CI%XocB bk"k&.C^+ 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 ?Wg{oB@( HXfXb^~ 建模任务 BBR"HMa4 (s$u_aq77 0w(T^GhZ qJ+52U|z 由于组件倾斜引起的干涉条纹 -9>LvLU g(1B W#$ .6ngo0<g mvq7G 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 4[#6<Ixf =vr Y{5!>
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