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摘要 Kc[^Pu Kq")|9=d C2R"96M7q OulRqbL2 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 s7yKxg+`{ )>h3IR 建模任务 uH$hMg ^
q ba<#e BywEoS H%m^8yW1 由于组件倾斜引起的干涉条纹 XwEMF5[ sRT5i9TQ ,9G'1%z, kq=Htbv7 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 4'D^>z!c 5(#z)T
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