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摘要 _a$5" P9`CW -;
d{}F -`spu) 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 K",Xe> }(na)B{m 建模任务 $*XTX?,' :*l\j"fX5 cZ`%Gt6g xjxX4_ 由于组件倾斜引起的干涉条纹 ,5~C($-t rnMi
>? ]-heG'y]{ 8c%N+E] 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 vgNrHq&2q :c}PW"0v
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