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摘要 vd(S&&]o1 x,]x>Up <7SE| K;WQV, 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 iETUBZ }(
CYok 建模任务 &P>& T ZSW@,Ti pgiZA?r*< :Yn.Wv- 由于组件倾斜引起的干涉条纹 U,Uy0s2r 8>W52~^fU :"Otsb7 rab$[?] 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 O39 7<*0fy5n n
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