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摘要 :Vc+/ZyW 08&DP^NS Bry\"V"'g *P&ZE 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 K
oPTY^ GMLq3_' 建模任务 89:Y s= m M!H}| >Liv]. }3cOZd_,t 由于组件倾斜引起的干涉条纹
Q_'3}:4 L2[|g~ *upl*zFf0 {w.rcObIw+ 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 :e:jILQ[ MV5'&" ,oB
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