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摘要 &Fw[YGJayz /_]ltX D `_|aeoK_ <f%ujrX 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 ?n)Xw)] s(Z(e % 建模任务 a
"R7JjH ? m&IF<b BbFa=H. e"]"F{Q 由于组件倾斜引起的干涉条纹 ~|h lE z 538fK9[ 2;8Xz6T <>%,}j
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