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摘要 ?sk{(UN] VMXccT9i! o7;lR? fX2sjfk 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 58V`I5_ Kejp7okb 建模任务 e
^2n58 .J"QW~g^ <Z5-?wgf9 L
4V,y> 由于组件倾斜引起的干涉条纹 C.].HQ Gh>&+UA'$1 -Aaim`06bv <hvs{}TS 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 k<Qhw)M8 1o`zAJ8|2
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