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摘要 ,GVHwTZ0` W $?1" F. wd..{j0& Kk9 JZ[nT' 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 n U$Lp` {r[*}Bv
建模任务 +P}'2tE~' :E4i@ O7% RUX!(Xw .s7o$u~l 由于组件倾斜引起的干涉条纹 > ^n' C*kZ>mbc #^!oP$>1 lQi2ym? 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 Sh2q#7hf fJc,KZy
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