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摘要 Im=E?t l8Ox]%F XUWza=BR" dc *#?G6^ 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 0@KBQv"v $!t! = 建模任务 F6Ixu_s 3 D3K:K!FK Z(FAQ\7 %pdfGM9g 由于组件倾斜引起的干涉条纹 SVJ3!1B, LQ._?35r 6K&V} u:k#1Nn! 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 ~$5[#\5%G ) Ez=#dIq
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