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摘要 #g$I>\O< C0w_pu T U_'1 bX38=.up 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 -x6_HibbD QmSj6pB> 建模任务 ;q-c[TZC sT1OAK\^
5:gpynE| I52nQCXi 由于组件倾斜引起的干涉条纹 Jk}3c>^D [F*yh9%\ l,Q`;v5| U>!TM##1QD 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 <fBJ@> M/W9"N[ta
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