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摘要 Bc3:}+l .`?@%{ RK w$- 7O x@8a'' 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 (sWLhUgRX `y+tf?QN 建模任务 &/,|+U[ 9@+5LZR C]Q8:6b 4Qn$9D+? 由于组件倾斜引起的干涉条纹 j65<8svl 36US5ef ]qhPd_$?D' I-OJVZ( V 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 <FZ@Q[RP LdJYE;k Ju
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