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摘要 .-|O "H$ V]O
:;(W_ >Qx#2x+ 4By-+C* 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 lhI;K4# 6+u'Tcb 建模任务 Ii,:+o% e"CLhaT jFXU
xf +i>q;=~ 由于组件倾斜引起的干涉条纹 h[8y$.YsC j%}Jl []]3"n c'B"Onu@m* 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 (>K$gAQH 31*6 ;(
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