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摘要 &eYnO~$! 5 Z+2 jU\vg;nr <smi<syx 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 -F.A1{l[. *GxOiv7"4W 建模任务 Wy{xTLXk2 {kGcZf3h EHk(\1!V Ve,h]/G 由于组件倾斜引起的干涉条纹 o RT<h =\;yxl $89hkUuTu^ zs!}P 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 s ~'><ioh !QK~l
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