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摘要 2r=A' LAwAFma> 9fL48f$ :X6A9jmd 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 _mw(~r8R C7[CfcPA 建模任务 )FrXD3p %v(\;&@ 4^O'K;$leD lx&ME#~ 由于组件倾斜引起的干涉条纹 qrmJJSJ U0:tE>3`
BK1Aq3*) Wg+fT{[f| 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 {~ngI< n3kYVAgF
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