摘要
c]x-mj = %XukiA+ 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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D6@ c|O{Q #KoI8U" 建模任务
`=hCS0F iYT?6Y|+
i@rUZYF 光栅特性与参数的严格分析
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_ ',`Qx{tQ) 不同光栅周期下的衍射效率
J#Y0R"fo #A4WFZ
w=_^n]`R n.9k5r@ 关于光栅周期选择的考虑
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DTA$,1JuD `]l`t"x 偏振相关的衍射特性
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,rN$ah$CL iNkN'(" 通过参数优化进行光栅设计
>CrrxiG :I&y@@UG 固定周期的2D参数优化
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3HuocwWbz 2D参数优化–设计1
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5f 2D参数优化–设计2
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$#r^I 制造
公差分析–设计2
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QhRz57' Ms5qQ<0v_ 变化光栅周期的3D参数优化
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whw+ 7&P70DO 制造公差分析
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j|[$P4w}U _(m455HZ 走进
VirtualLab Fusion
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onmkg}&_ 56kqG}mg& VirtualLab Fusion中的工作流程
ZaaBg _VgFuU$h
8q]"CFpa _0u=}tc •构造光栅
结构 T}?b,hNl$ −通过使用界面来配置光栅结构
<f}:YDY' [用例]
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U}c6/ •分析光栅衍射效率
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t!@}QP −光栅级次分析器[用例]
,ko#z}Z4r, •使用参数运行搜索初始解决方案
Sru0j/|H\ −参数运行文档的使用[用例]
I8@leT\9M •通过参数优化找到最终设计
QhTn9S:D aLLI\3 VirtualLab Fusion技术
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