摘要 MAPGJ"?
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当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 f6>b|k~
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光栅特性与参数的严格分析 'zuIBOH`j3
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不同光栅周期下的衍射效率 j'"J%e]
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关于光栅周期选择的考虑 \\;jw[P0
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通过参数优化进行光栅设计 PIS2Ed]
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固定周期的2D参数优化 *#+An<iT ;
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制造公差分析–设计2 &`2)V;t
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走进VirtualLab Fusion FXkM#}RgNm
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VirtualLab Fusion中的工作流程 $*=<Yw4
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•构造光栅结构 .3Oap*X
−通过使用界面来配置光栅结构 V)N%WXG
[用例] d>qY{Fdz
•分析光栅衍射效率 JY(WK@
−光栅级次分析器[用例] oW6XF-yM
•使用参数运行搜索初始解决方案 Wg]Qlw`\|
−参数运行文档的使用[用例] ;>7De8v@@
•通过参数优化找到最终设计 WNrk}LFof
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VirtualLab Fusion技术 /f;~X"!
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