摘要 (ZEDDV2
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当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ~{s7(^ P
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建模任务 :=%`\\
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光栅特性与参数的严格分析 [u`9R<>c"U
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不同光栅周期下的衍射效率 Hy1f,D
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关于光栅周期选择的考虑 5P
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偏振相关的衍射特性 8fs::}0
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通过参数优化进行光栅设计 t Sf`
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固定周期的2D参数优化 k"2xyzt*
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2D参数优化–设计1 ,, G6L{&Z
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制造公差分析–设计2 ~IKPi==@,
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变化光栅周期的3D参数优化 *tda_B
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走进VirtualLab Fusion dSb|hA}@
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VirtualLab Fusion中的工作流程 cFoDR
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•构造光栅结构 :sBg+MS
−通过使用界面来配置光栅结构 ,"u-V<>6O
[用例] 5B?>.4R
•分析光栅衍射效率 :hG?} [-2
−光栅级次分析器[用例] @l^=&53T
•使用参数运行搜索初始解决方案 y.~y*c6,g
−参数运行文档的使用[用例] Q-%Q7n'c
•通过参数优化找到最终设计 >'@yq
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VirtualLab Fusion技术 ~3.1.
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