摘要 :?t~|7O:
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当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 =S&`~+
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光栅特性与参数的严格分析 Ed9Uw7
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不同光栅周期下的衍射效率 U&5*>fd=
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关于光栅周期选择的考虑 Wlj&_~
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偏振相关的衍射特性 ,WT>"9+
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通过参数优化进行光栅设计 +a1x;
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固定周期的2D参数优化 $NXP)Lic)
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2D参数优化–设计1 3*b5V<}'|
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变化光栅周期的3D参数优化 I2cz:U7
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VirtualLab Fusion中的工作流程 x&}]8S)
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•构造光栅结构 VJh8`PVX
−通过使用界面来配置光栅结构 hlTbCl
[用例] :!ya&o
•分析光栅衍射效率 iCt.rr~;V
−光栅级次分析器[用例] k4TWfl^}9
•使用参数运行搜索初始解决方案 p{FI_6db
−参数运行文档的使用[用例] KWTV!Wxb=K
•通过参数优化找到最终设计 ]BQYVx/
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VirtualLab Fusion技术 x-^6U
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