[技术]高效偏振无关透射光栅的分析与设计 [复制链接]

摘要 \=0Vuz  
2MATpV#BT  
当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)],  我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 _[Vf547vS  
iSFuT7;%  

图片:1-20021G15353423.png

etoo #h"]1  
Q2A7mGN  
建模任务 Up:<=Kgci  
@h*fFiY&{  

图片:1-20021G15419564.png

A<6%r7&B'  
光栅特性与参数的严格分析 ?d4m!HgR  
I+!:K|^
  
不同光栅周期下的衍射效率 n.sbr
 
mo1oyQg8  

图片:1-20021G15602G5.png

`Pw*_2  
F q!fWl  
关于光栅周期选择的考虑 M:P0m6ie  
}lK3-2Pk  

图片:1-20021G15641J8.png

}U SC1J  
^/5XZ} *  
偏振相关的衍射特性 dgDy5{_  
[HN|\afz  

图片:1-20021G15G0159.png

!r`,=
jK"  
]uspx[UIc  

图片:1-20021G15I2201.png

A>[|g`;t  
w=|GJ0  

图片:1-20021G15P2594.png

YPzU-:

3  
.i^7|o:  
通过参数优化进行光栅设计 2o#,kGd  
?x^z]N|P  
固定周期的2D参数优化 `fNG$ODL   
xr7+$:>a  

图片:1-20021G15RaL.png

tX!nsm1  
2D参数优化–设计1 v4RlLgdS%  
6YuY|JD  

图片:1-20021G15Z4258.png

'+ xu#R
  
$7QoMV8V  
2D参数优化–设计2 Q#
(GI2F2#  
,*]d~Y  

图片:1-20021G20004394.png

Sa"9^_.2#  
+n
})Y  
制造公差分析–设计2 }Z TGi,Pc  
(~$/$%b  

图片:1-20021G2002JX.png

P/JK$nb  
pq:7F  
变化光栅周期的3D参数优化 #wc \T  
9S[
XTU  

图片:1-20021G20100c0.png

;.wX@  
#{9G sD  
制造公差分析 m^_6:Q0F!8  
ubu?S%`  

图片:1-20021G20120954.png

},5'z{3E  
N$TL;T>  
走进VirtualLab Fusion ^`SA'F,  
[TF8'jI0  

图片:1-20021G20141219.png

OG3/-K8R  
+,50qN:%[  
VirtualLab Fusion中的工作流程 @<M*qK1h  
hI
pKJ&hm  

图片:1-20021G20205237.png

$T<}y_nHl  
\V2,pi8'v  
•构造光栅结构 $|KaBx1  
−通过使用界面来配置光栅结构 L:M0pk{T  
[用例] 1Uf*^WW4  
•分析光栅衍射效率 55t\Bms{  
−光栅级次分析器[用例] eQO#Qso]  
•使用参数运行搜索初始解决方案 #'OaKt?Z)  
−参数运行文档的使用[用例] #a| L3zR5v  
•通过参数优化找到最终设计 Gg\G'QU  
2X-l{n;>  
VirtualLab Fusion技术 wA`"\MWm  
4$,,Ppn  

图片:1-20021G2025W62.png