摘要
ds7I .Q' O]lWaiR` 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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mC J/gWDY ZJ+q<n_4} 建模任务
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N}\$i&Vi 光栅特性与参数的严格分析
gD&%$&q "C}nS=]8m 不同光栅周期下的衍射效率
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?dg cWh Aj>?_Q 关于光栅周期选择的考虑
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oPre$YT}h Ep?a1&b 偏振相关的衍射特性
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F"a,[i,[W 0jj
}jw 通过参数优化进行光栅设计
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AN0 固定周期的2D参数优化
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B;?a. 81~ 2D参数优化–设计1
L`];i8=I \N/T^,
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_#G 2D参数优化–设计2
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@8V8gV?zm bpKb<c 制造
公差分析–设计2
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&z%7Nu MIi:\m5 变化光栅周期的3D参数优化
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7j._3'M=Kc t'R&$;z@b 制造公差分析
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U_oMR$/Z 3%k@,Vvt 走进
VirtualLab Fusion
F<G.!Y8!& #J1a `}x
okr'=iDg H-0deJ[> VirtualLab Fusion中的工作流程
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+F4xCz7f P +oCcYp •构造光栅
结构 e$Md?Pq −通过使用界面来配置光栅结构
!K6: W1 [用例]
&eg]8kV •分析光栅衍射效率
)mp0k% −光栅级次分析器[用例]
|p3]9H •使用参数运行搜索初始解决方案
*|hICTWL −参数运行文档的使用[用例]
nD E5A •通过参数优化找到最终设计
oX!s u Q:@Y/4= VirtualLab Fusion技术
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