摘要 P%GkcV
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当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ?f2G?Y
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建模任务 anx&Xj|=.F
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光栅特性与参数的严格分析 u:4["ViC
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不同光栅周期下的衍射效率 me'(lQ6^
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关于光栅周期选择的考虑 :_c*m@=z(
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偏振相关的衍射特性 !1-&Y'+
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通过参数优化进行光栅设计 9%TT>2#
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固定周期的2D参数优化 ]|BojSL_
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2D参数优化–设计1 8}K"IW
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制造公差分析–设计2 r+TK5|ke
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变化光栅周期的3D参数优化 4[(?L{
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制造公差分析 v<+4BjV!J}
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VirtualLab Fusion中的工作流程 m6eFXP1U
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•构造光栅结构 |""=)-5N
−通过使用界面来配置光栅结构 a0{[P$$
[用例] Y.(v{l
•分析光栅衍射效率 Z/n3aYM
−光栅级次分析器[用例] Wge ho
•使用参数运行搜索初始解决方案 ,y{0bq9*2
−参数运行文档的使用[用例] w)^\_uAlS
•通过参数优化找到最终设计 x!`b'U\
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VirtualLab Fusion技术 0 K/G&c?;=
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