摘要
uC$!|I )seeBm-` 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
ZP-^10
u]0{#wu;g <UsFB F c6-~PKJL 建模任务
IX+!+XC"U c`,'[Q5(O Y(mnGaVn 光栅特性与参数的严格分析
l/xpAx aoqG*qh}b 不同光栅周期下的衍射效率
OKi}aQ2R* uSQlE= 10}<n_I Dm{9;Abs% 关于光栅周期选择的考虑
9u?[{h.`B ?COLjk ^ruz-N^Y! W79Sz}): 偏振相关的衍射特性
MxLg8,M ZX0#I W "50c<sZSB 2p %j@O N++ ;}j R,8 W7 3 L$t.$[~L )Szn, 通过参数优化进行光栅设计
S\M+*:7 TTagZI$ 固定周期的2D参数优化
K0A[xkX6 .+)
AeGh q x5jaa3 2D参数优化–设计1
w!_6* imc1rY!~' N(J'h$E #J'V,_wH 2D参数优化–设计2
]xxE_B7 U6?3 z Og-v][ O$ARk+ 制造
公差分析–设计2
oM^VtH=> .^xQtnq bn:74,GeyK <5!)5+G 变化光栅周期的3D参数优化
ntxaFVD $Sgq7 fl8eNiE| %bp'`B= 制造公差分析
FtW=Cc`hC_ &q>C MX"M2>" pT m1D,#=C,_ 走进
VirtualLab Fusion
ThY\K>@] )YVs=0j 5SEGV|% kq*IC&y VirtualLab Fusion中的工作流程
4axuE] Gs/G_E(T V]Kk= |JiN;
O+K •构造光栅
结构 /Yj; '\3 −通过使用界面来配置光栅结构
!{F\\D/ [用例]
XnKf<|j6k •分析光栅衍射效率
uHuL9Q^ −光栅级次分析器[用例]
&,QBJx<# •使用参数运行搜索初始解决方案
T"e"?JSRJ −参数运行文档的使用[用例]
\I7&F82e •通过参数优化找到最终设计
I@kMM12>c _D{{C VirtualLab Fusion技术
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