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当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 8`R +y
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建模任务 >*<6 zQf
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光栅特性与参数的严格分析 {="Su{i}}
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不同光栅周期下的衍射效率 oF 1W}DtA
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关于光栅周期选择的考虑 m=("N
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偏振相关的衍射特性 T9U2j-lA?
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通过参数优化进行光栅设计 jU3;jm.)
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固定周期的2D参数优化 I!soV0VU]
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变化光栅周期的3D参数优化 'Kso@St`o
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制造公差分析 2dd:5L,
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走进VirtualLab Fusion v<J;S9u=
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VirtualLab Fusion中的工作流程 *_).UAP.
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•构造光栅结构 o"ah\"#el
−通过使用界面来配置光栅结构 :rs\ydDUF
[用例] <%3SI.
•分析光栅衍射效率 nwZr3r
−光栅级次分析器[用例] WO(&<(?
•使用参数运行搜索初始解决方案 noUZ9M|hz
−参数运行文档的使用[用例] R$;&O.
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•通过参数优化找到最终设计 ]20"la5
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VirtualLab Fusion技术 ]-5jgz"
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