摘要
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"9s r)b<{u=] 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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*#2Rvt*Ox @^?XaU 建模任务
T"!EK& C3S`}o.
QlD6i-a 光栅特性与参数的严格分析
Q4wc-s4RN *48IF33&s 不同光栅周期下的衍射效率
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El6bD% \G /2@["*^$ 关于光栅周期选择的考虑
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I/B1qw;MN y $V[_TN 偏振相关的衍射特性
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>&Fa(o;* rkYjq4Z@ 通过参数优化进行光栅设计
B*@6xS[IL |Td5l? 固定周期的2D参数优化
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r(`nt-o@ 2D参数优化–设计1
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l`gTU?<xd 5I,$EGG 2D参数优化–设计2
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^l !L)iw \0AiCMX[ 制造
公差分析–设计2
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'Q 变化光栅周期的3D参数优化
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P*G+eqX Q$=*aUU%G 制造公差分析
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XDLEVSly7 JSW&rn 走进
VirtualLab Fusion
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@@}`hii (5`T+pAsV VirtualLab Fusion中的工作流程
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5 H?{ •构造光栅
结构 mG(N:n%*K −通过使用界面来配置光栅结构
|}S1o0v{(a [用例]
8wIK: •分析光栅衍射效率
0Nr\2| −光栅级次分析器[用例]
CLK^ gZ •使用参数运行搜索初始解决方案
'29WscU −参数运行文档的使用[用例]
oR %agvc^^ •通过参数优化找到最终设计
=nhzMU9c\y )HVcG0H1 VirtualLab Fusion技术
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