[技术]高效偏振无关透射光栅的分析与设计 [复制链接]

摘要 <Wpz\U  
&~i1 @\]  
当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)],  我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 >9 iv>  
"P6MLf1  

图片:1-20021G15353423.png

6R25Xfm_|  
FB@G.f  
建模任务 {}z7N~  
"k.<"p
f  

图片:1-20021G15419564.png

`)'YU^s  
光栅特性与参数的严格分析 B4hR3%  
Rh=h{O  
不同光栅周期下的衍射效率 C RNO4  
<%5ny!]  

图片:1-20021G15602G5.png

z8oSh t`+  
{S?.bT%&  
关于光栅周期选择的考虑 wegBMRQVp  
?1YK
-T@  

图片:1-20021G15641J8.png

%:NI@59  
FX{Sb"  
偏振相关的衍射特性 j0J6ySlY  
Q]8r72uSk  

图片:1-20021G15G0159.png

YJ6Xq||_  
Cd4G&(=  

图片:1-20021G15I2201.png

EB\\ F  
Af;$}P  

图片:1-20021G15P2594.png

y0xte&  
+p2)uXqW  
通过参数优化进行光栅设计 "h "vp&A  
, vWcWT  
固定周期的2D参数优化 ~sOAm  
>B==*,|  

图片:1-20021G15RaL.png

i9d.Ls  
2D参数优化–设计1 1'ZBtX~A  
1c]GS&(RP  

图片:1-20021G15Z4258.png

zJPzI{-w|  
!^y'G0  
2D参数优化–设计2 #jQITS7  
SO|$X  

图片:1-20021G20004394.png

L9T|*?||  
0L'h5i>H)  
制造公差分析–设计2 I'JFt>]  
4v;/"4)'  

图片:1-20021G2002JX.png

(f7R~le  
yovC~  
变化光栅周期的3D参数优化 [j):2  
OF}vY0oiw?  

图片:1-20021G20100c0.png

 W+e  
<%!EI@
N  
制造公差分析 "
lB[IB)  
'Je;3"@  

图片:1-20021G20120954.png

XOU 9r(  
:AL nm0d  
走进VirtualLab Fusion {$Qw]?Yv
 
hDCR>G  

图片:1-20021G20141219.png

1$4dzI()  
ZjWI~"]  
VirtualLab Fusion中的工作流程 alyWp  
}5EvBEv-)  

图片:1-20021G20205237.png

s~3"*,3@  
QN":Qk(,q  
•构造光栅结构 !Eu}ro.}  
−通过使用界面来配置光栅结构 @u?m4v{  
[用例] arm26YA-,  
•分析光栅衍射效率 H+` Zp  
−光栅级次分析器[用例] >HyZ~M  
•使用参数运行搜索初始解决方案 y-9Mm9J  
−参数运行文档的使用[用例] Nzf 
tc  
•通过参数优化找到最终设计 "_W[X  
f-^JI*hj  
VirtualLab Fusion技术 S/V%<<[>p]  
)m|)cLT&  

图片:1-20021G2025W62.png