摘要 Yq00<kIDJ
iXo;e
当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 #)7`}7N
sx=1pnP9`
`oikSx$vB.
i=#\`"/
建模任务 `RSiZ%Al
W vB]Rs
L;")C,CwQ
光栅特性与参数的严格分析 lhYJectJa
1$03:ve1
不同光栅周期下的衍射效率 ^-PYP:*
'6qH@r4Z<
TxK
v!-1
9_5>MmiB
关于光栅周期选择的考虑 J[6/dM
4'#=_J
p1niS:}j
?GNRab
偏振相关的衍射特性 @JhkUGG]p
Tdh.U{Nz
Z72%Bv
qpe9?`vVX
-{OJM|W+
i=n;rT
PU.j(0
RP~67L
通过参数优化进行光栅设计 3lWGa7<4Z
[C4{C4TX
固定周期的2D参数优化 t=Rl`1=(K
cD`?"n
vo
}4N[]Sb
2D参数优化–设计1 %1k"K~eu
e"^WXP.t&
-
i2^ eZl
:*
|WE29U
2D参数优化–设计2 OCdX'HN5Y
"6%{#TZ
x'}zNEXI
H?r~% bh
制造公差分析–设计2 Pl'lmUR
<ndY6n3
\kyoA
Z
apJXRH`
变化光栅周期的3D参数优化 W7|nc,i0\
aU.3
[AFR \{
k8n9zJ8
制造公差分析 g/$RuT2U
z [[qrR
8hww({S2
3;z1Hp2X
走进VirtualLab Fusion 6W YVHG
Jb> X$|N'%
jt6_1^
w]xr
~D+
VirtualLab Fusion中的工作流程 `*Wg&u
<nk/w5nKL
:##$-K*W"
t;3).F
•构造光栅结构 EVqqOp1$v4
−通过使用界面来配置光栅结构 GE]
QRKf
[用例] a6:hH@,
•分析光栅衍射效率 #G(ivRo
−光栅级次分析器[用例] X^&--@l}T!
•使用参数运行搜索初始解决方案 0[YksNNl1
−参数运行文档的使用[用例] ,\+N}F^
•通过参数优化找到最终设计
N6BOUU]
yZ=O+H
VirtualLab Fusion技术 It2:2
UT{`'#iT