[技术]高效偏振无关透射光栅的分析与设计 [复制链接]

摘要 'yAHB* rQR  
LtDGu})1  
当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)],  我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 u|ru$cIo  
C #@5:$  
x@VZJrQQ  
LaIH3!M3  
建模任务 Y]}>he1/5  
_7-P8"m  
`uqsYY`V  
光栅特性与参数的严格分析 MOP#to)k&  
JZrZDW>M  
不同光栅周期下的衍射效率 d a.6Z!a  
} qr ,  
+&)&Ny$W  
=/^{P
n  
关于光栅周期选择的考虑 [iG4qI  
lHo
V>k  
J*f..:m  
}zwHUf9q1  
偏振相关的衍射特性 hjoxx F\
_  
nTXM/  
ulY<4MN  
'miY"L:| O  
kD4J{\  
~VO?PfxZ  
l*4_  
[-x]%  
通过参数优化进行光栅设计 k3B]u.Lo  
\kksZ4,  
固定周期的2D参数优化 cvv(OkC  
m"8Gh`Fo  
E\=23[
0  
2D参数优化–设计1 e^Lt{/  
vZ2/>}!Z=  
<-a6'g2y  
MF~Tr0tOC  
2D参数优化–设计2 L+$9 ,<'
[  
-D30(g{O  
&H@OLyC  
9^1.nE(R&  
制造公差分析–设计2 ]$a,/Jt  
r081.<  
;AK@Kb  
G~Mxh,aD$>  
变化光栅周期的3D参数优化 g_t1(g*s  
sAU!u  
ob;$yn7ZO1  
:f58JLX  
制造公差分析 p4'Qki8Hd  
+zLh<q0  
N|L Ey  
OQm-BL  
走进VirtualLab Fusion h\qM5Qx+Q  
 MfNguh  
J$Nc9?|ZZ  
")ZsY9-P  
VirtualLab Fusion中的工作流程 #}{1>g{sXt  
jZvQMW  
8HymkL&F  
A#B6]j)  
•构造光栅结构 $s-HG[lX[  
−通过使用界面来配置光栅结构 L[FNr&  
[用例] i=G.{.  
•分析光栅衍射效率 XQ]5W(EP  
−光栅级次分析器[用例] ;F!wyTF>}  
•使用参数运行搜索初始解决方案 89{@2TXR
 
−参数运行文档的使用[用例] 6~j.S "  
•通过参数优化找到最终设计 K1K3s<y+  
w %sHA  
VirtualLab Fusion技术 3d|n\!1r  
zS##YR