摘要 JgEPzHgx
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当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 *?:V)!.2z
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建模任务 jb|al[p\
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光栅特性与参数的严格分析 V:s$V.{!
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不同光栅周期下的衍射效率 MAb*4e#
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关于光栅周期选择的考虑 /H3z~PBa
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偏振相关的衍射特性 C9OEB6
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通过参数优化进行光栅设计 Pw+PBIGn4
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固定周期的2D参数优化 Fj;];1nt
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2D参数优化–设计1 RGg=dN
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2D参数优化–设计2 2~`vV'K
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制造公差分析–设计2 ![3 /!
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变化光栅周期的3D参数优化 G.")Bg
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制造公差分析 qTZ\;[CrP"
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走进VirtualLab Fusion ,ArHS
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VirtualLab Fusion中的工作流程 baQORU=X
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•构造光栅结构 dl]pdg<
−通过使用界面来配置光栅结构 ^%n]_[RUn4
[用例] *O|_)G
•分析光栅衍射效率 DHq#beN
−光栅级次分析器[用例] &=^YN"=Z
•使用参数运行搜索初始解决方案 Ko|m<;LX
−参数运行文档的使用[用例] u4#YZOiY)A
•通过参数优化找到最终设计 a`e'HQ
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VirtualLab Fusion技术 K/iFB
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