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当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 .2Elr(&*h
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建模任务 U@)eTHv}6
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光栅特性与参数的严格分析 :g=qz~2Xk
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不同光栅周期下的衍射效率 cO+qs[
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偏振相关的衍射特性 b;W3j
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制造公差分析–设计2 vrhT<+q
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VirtualLab Fusion中的工作流程 85 |OGtt
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•构造光栅结构 1#V_Z^OL
−通过使用界面来配置光栅结构 o/$}
[用例] W#4 7h7M
•分析光栅衍射效率 H1pO!>M
−光栅级次分析器[用例] QuF:p
•使用参数运行搜索初始解决方案 \}u
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−参数运行文档的使用[用例] (lBCO?`fx
•通过参数优化找到最终设计 )BZ.Sv
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VirtualLab Fusion技术 ]_mb7X>
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