摘要
:meq4!g{1 wX+KW0|> 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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0zc~!r~ $N/"c$50, 建模任务
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6 K-jje;) 光栅特性与参数的严格分析
(@i2a #`qP7E w 不同光栅周期下的衍射效率
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f#3!Q!C^ FA$1&Fu3Y 关于光栅周期选择的考虑
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5pz(6gA 3?r?)$Jk 偏振相关的衍射特性
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ay>u``$R #,;X2% c 通过参数优化进行光栅设计
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e1= &BE'~G 固定周期的2D参数优化
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`3'4_@7s9 2D参数优化–设计1
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dPb@[k JG* Lc@ Q 2D参数优化–设计2
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{wCzm w;]~2$ 制造
公差分析–设计2
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SwdUElEp 50HRgoP5Y 变化光栅周期的3D参数优化
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DcX,o*ec! 'Ej&zh 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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/]o rF)[ Sed:T VirtualLab Fusion中的工作流程
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&pEr;:E xSL%1>MrN •构造光栅
结构 /8"9sf* −通过使用界面来配置光栅结构
K[M[0D [用例]
v|#}LQZ •分析光栅衍射效率
+Q! −光栅级次分析器[用例]
2P ic 4Z •使用参数运行搜索初始解决方案
6R';[um?q −参数运行文档的使用[用例]
d!#qBn$*[ •通过参数优化找到最终设计
x$;kA}gy rBrJTF:. VirtualLab Fusion技术
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