摘要
\$\(9!= ]v,y(yl 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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9Wap b>AAx$2Y 建模任务
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/$4?.qtu 光栅特性与参数的严格分析
yI)fu^ y7G|P~td 不同光栅周期下的衍射效率
^~1@HcJo sbiDnRf
uKAHJ$% xg1r 3 关于光栅周期选择的考虑
r- "`Abev jw%FZ
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7ZMu 偏振相关的衍射特性
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/<Nt$n vlKKPS 通过参数优化进行光栅设计
; 8x^9Q Hx/Vm`pRyX 固定周期的2D参数优化
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&CsBG?@Z| 2D参数优化–设计1
`2~Ea_Z [0
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/OtQk-E w8@|b} 2D参数优化–设计2
Fi=8B&j lz5j~t5>Q
oDDH;Q"M( w [x+2 制造
公差分析–设计2
/PuWJPy; %+JTQy
BTQC1;;N WC&Ltw8 变化光栅周期的3D参数优化
c oz}VMp BPs
&
4Lq]yUj W@}5e-q)O 制造公差分析
I:7,CV H~K2`Cr)4
oRF"[G8BV `d;izQ1_= 走进
VirtualLab Fusion
KD*4n'm!> W8rn8Rh
qUg4-Z4 *\+'tFT6 VirtualLab Fusion中的工作流程
AUpC HG7 VDN]P3
Mo=-P2)>lt 9!C?2*>A P •构造光栅
结构 5gEWLLDp −通过使用界面来配置光栅结构
2|o$eq3t [用例]
s*WfRY*=V •分析光栅衍射效率
|*a>6y −光栅级次分析器[用例]
P
&._-[ •使用参数运行搜索初始解决方案
e-meUf9 −参数运行文档的使用[用例]
u^[v{hv'H •通过参数优化找到最终设计
|0 %UM} mMWNUkDq VirtualLab Fusion技术
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