摘要
JmpsQ,, Qju`e Eo 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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cu!4l insY(.N 建模任务
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D';eTy Y 光栅特性与参数的严格分析
y 0ckm6^ s4T}Bsr 不同光栅周期下的衍射效率
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n [{&jr]w`| 关于光栅周期选择的考虑
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}PeZO!K mW`oq 偏振相关的衍射特性
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>[a<pm! uL?vG6% ^1
sY;lt.b %3Bpn=k> 通过参数优化进行光栅设计
UU@fkk ?Hy+'sq[ 固定周期的2D参数优化
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2RppP?M! 2D参数优化–设计1
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G5'_a$ <`g3(? 2D参数优化–设计2
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5JFV%odo Rs$5PdH 制造
公差分析–设计2
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Dl;d33 变化光栅周期的3D参数优化
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0Dfow? 制造公差分析
QB 77:E d5U; $q{o
dbO# Jyu`-=It 走进
VirtualLab Fusion
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+Z+ExS<#z -i_En^Fi VirtualLab Fusion中的工作流程
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`fW{yb 9e5gy •构造光栅
结构 2a[9h# −通过使用界面来配置光栅结构
/4C`k=> [用例]
dERc}oAh( •分析光栅衍射效率
1VfSSO −光栅级次分析器[用例]
ex phe+b •使用参数运行搜索初始解决方案
*]{=8zc2 −参数运行文档的使用[用例]
RG?MRxC •通过参数优化找到最终设计
s)tpr FDq{M?6i VirtualLab Fusion技术
j-* TXog ){tPP$-i=