[技术]高效偏振无关透射光栅的分析与设计 [复制链接]

摘要 |o7[|3:M  
v<k?Vu  
当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)],  我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 2bz2KB5>  
V(}:=eK  
z,RhYm  
OUE(I3_  
建模任务 )Dms  
]43/`FX  
{.`vs;U  
光栅特性与参数的严格分析 )w em|:H  
"%)qRe  
不同光栅周期下的衍射效率 SV4E0c>  
:S]%6gb8G  
D#aDv0b  
W@>% {eE  
关于光栅周期选择的考虑 I
Zf{nQ[0  
]dVGUG8  
\eTwXe]Pv  
0^ _uV9r  
偏振相关的衍射特性 39c2pV[  
H;mSkRD3N  
Y+pHd\$-4  
I]|Pq  
\Dm";Ay>  
qfF~D0}  
RIR\']WN  
J[&@PUy  
通过参数优化进行光栅设计 Xc++
b|k  
{'flJ5]  
固定周期的2D参数优化 ';k5?^T  
hwuiu*  
xH4m|  
2D参数优化–设计1 h#I>M`|  

s3N'0
2G  
8qoMo7-f  
Mc lkEfn  
2D参数优化–设计2 !"e5h`/ADM  
d2FswF$C  
{L971W_L  
:]K4KFM  
制造公差分析–设计2 eSn+B;  
c2SO3g\"i  
D_2:k'4  
:9afg  
变化光栅周期的3D参数优化 rw[ph[\X  
W ~<^L\Lu  
[&[k^C5  
Yu/ID!`Z  
制造公差分析 [|wZ77\  
ho{*Cjv  
YpHg
&|Fr  
wVXS%4|v  
走进VirtualLab Fusion f^ZRT@`O  
&,vcJ{.  
`cn#B BV  
x^qVw5{n  
VirtualLab Fusion中的工作流程 nUr5Qn?  
Ufj`euY  
hF?1y`20  
w_c"@CjkE  
•构造光栅结构  'c&Ed  
−通过使用界面来配置光栅结构 OdbEq?3S/?  
[用例] ~Gp[_ %K  
•分析光栅衍射效率 RU{twL.B  
−光栅级次分析器[用例] $p8xEcQdU#  
•使用参数运行搜索初始解决方案 ;a!S!%.h  
−参数运行文档的使用[用例] udH7}K v  
•通过参数优化找到最终设计 v~+(GqR=+  
A|[?#S((]  
VirtualLab Fusion技术 ;V_e>TyG  
Hvauyx5T