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当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 TZtjbD>B
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建模任务 xl"HotsX-x
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光栅特性与参数的严格分析 \`ZW* EtPI
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不同光栅周期下的衍射效率 :5/Uh/sX
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关于光栅周期选择的考虑 \`, [)`
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偏振相关的衍射特性 .))v0
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通过参数优化进行光栅设计 ~2d:Q6
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固定周期的2D参数优化 <*t4D-os
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2D参数优化–设计1 -dv%H{
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2D参数优化–设计2 bS
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制造公差分析–设计2 htm{!Z]s0
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变化光栅周期的3D参数优化 ]APvp.Tw:
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制造公差分析 7ZUiY
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走进VirtualLab Fusion G5D2oQa=8
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VirtualLab Fusion中的工作流程 kCUT ^
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•构造光栅结构 @c'|Iqy`
−通过使用界面来配置光栅结构 7@a 0$coP
[用例] Ufo>|A6;$
•分析光栅衍射效率 }.)s%4p8
−光栅级次分析器[用例] 69kJC/1+l
•使用参数运行搜索初始解决方案 6AN)vs}
−参数运行文档的使用[用例] ^D@b;EyK
•通过参数优化找到最终设计 gM>=%/.
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VirtualLab Fusion技术 v&g0ta@
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