摘要
rg
0u#- 6{g&9~V 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
n* .<L l <Z7bo
,W/Y@ScC R mo'3 建模任务
300[2}Y] DiZv sc
d`j<Bbf- 光栅特性与参数的严格分析
<$#^)]Ts *7#5pT~ 不同光栅周期下的衍射效率
f3h]t0M vNZ"x)?
8|+@A1)&4 1 .o0" 关于光栅周期选择的考虑
{W%XSE ^?A>)?Sq
[p(0g;bx W* n|T{n 偏振相关的衍射特性
vAOThj) 3#\C!T0y
55,2eg#{O wNNg"}&P
J'L6^-gV \`-xxhb?e
3-[+g}kak? B&EUvY ' 通过参数优化进行光栅设计
`dl^)4J a\B?J 固定周期的2D参数优化
`nc=@" 1 CE|
*&G
Tq6\oIBkV 2D参数优化–设计1
0a,B&o1 p`!<yq2_
@f,/ K1k ?]+!gz1 2D参数优化–设计2
5F]2.<i ]9wTAb
*hpS/g/3\ 1.Neg| 制造
公差分析–设计2
;D%H}+Z 3S%/>)k
SR<W3a\ uE..1N&* 变化光栅周期的3D参数优化
[3x*47o "z N~?(<DyZR
bY~V?yNgKM 6;M{suG| 制造公差分析
lj+&3<E
KcpQ[6\
(SA^>r c;n\HYk 走进
VirtualLab Fusion
_d>{Hz2 ^t`0ul]c
Pv*]AF;9pQ ws$kwSHq VirtualLab Fusion中的工作流程
fOP3`G^\ y3P4]sq
F8\JL % #TB
3|= •构造光栅
结构 7b8y −通过使用界面来配置光栅结构
B& 5Md.h [用例]
s;[WN. •分析光栅衍射效率
g?@fHFct −光栅级次分析器[用例]
74c5\UxA •使用参数运行搜索初始解决方案
[88PCA: −参数运行文档的使用[用例]
hK %FpGYA •通过参数优化找到最终设计
;RMevVw| o,/w E VirtualLab Fusion技术
e`K{ o76{;Bl\O