摘要
M+ljg&fy N-cLp}D}WB 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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[<H'JsJl !caY 建模任务
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L%sskV( 光栅特性与参数的严格分析
}63Qh}_Y +#Q\;;FNP 不同光栅周期下的衍射效率
b!hs|emo; R3,O;9i
AIK99 jXu)%< 关于光栅周期选择的考虑
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XNd%3rm, Z&w/JP? 偏振相关的衍射特性
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通过参数优化进行光栅设计
40ZHDtIu< ^xZ o.P 固定周期的2D参数优化
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VP\'p1a 2D参数优化–设计1
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9f/RD?(1O =iZj&B X 2D参数优化–设计2
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-hjGPu ~lSdWUk> 制造
公差分析–设计2
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|4lrVYG^K ^qgOgu 变化光栅周期的3D参数优化
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ESQgN+llj 9f+S-! 制造公差分析
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n:i?4'-} tOQura 走进
VirtualLab Fusion
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6L\?+=X gOnVN6 VirtualLab Fusion中的工作流程
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"h >B`S ag~4m5n*~ •构造光栅
结构 LBs:O*; −通过使用界面来配置光栅结构
D. _*p [用例]
R,'`
A.Kk •分析光栅衍射效率
a*fUMhIi −光栅级次分析器[用例]
E@%X •使用参数运行搜索初始解决方案
x<-n}VK\ −参数运行文档的使用[用例]
/'S@iq •通过参数优化找到最终设计
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'v VirtualLab Fusion技术
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