摘要 ~nY]o"8D
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当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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建模任务 # Su~`]
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光栅特性与参数的严格分析 WyhhCR=;
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不同光栅周期下的衍射效率 (eWPis[
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关于光栅周期选择的考虑 fS&6
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偏振相关的衍射特性 \wvg,j=
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通过参数优化进行光栅设计 s#9Ui#[=h
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固定周期的2D参数优化 5s{j=.O
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走进VirtualLab Fusion 9LnN$e
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VirtualLab Fusion中的工作流程 YV% 5y1i
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•构造光栅结构 +ECDD'^!
−通过使用界面来配置光栅结构 ) /vhclkb
[用例] RrZM&lXY
•分析光栅衍射效率 u9woEe?
−光栅级次分析器[用例] sAn0bX
•使用参数运行搜索初始解决方案 1F'1>Bu~
−参数运行文档的使用[用例] `^JJ&)4iv
•通过参数优化找到最终设计 Qp,DL@mp>8
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VirtualLab Fusion技术
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