摘要 h
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当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 S&IW]ffK
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建模任务 *My9r.F5o
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光栅特性与参数的严格分析 uK(]@H7~!c
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不同光栅周期下的衍射效率 iZ}c[hC'3`
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关于光栅周期选择的考虑 2!W[ff@~7
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偏振相关的衍射特性 Q=DMfJ"
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通过参数优化进行光栅设计 0$-|Th:o
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固定周期的2D参数优化 FMF mn|
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制造公差分析–设计2 L.-qTh^P
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变化光栅周期的3D参数优化 <<gW`KF
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制造公差分析 *Od?>z
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VirtualLab Fusion中的工作流程 KI*bW e
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•构造光栅结构 +T*??OW@
−通过使用界面来配置光栅结构 VFnxj52<
[用例] nB :i G
•分析光栅衍射效率 2{l|<'
−光栅级次分析器[用例] !h}Vz
•使用参数运行搜索初始解决方案 @J6r;4|&
−参数运行文档的使用[用例] =2rdbq6R
•通过参数优化找到最终设计 )`Qr=DIsW
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VirtualLab Fusion技术 dikX_ Q>D
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