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当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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光栅特性与参数的严格分析 DkQy.
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不同光栅周期下的衍射效率 e9N"{kDs6
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关于光栅周期选择的考虑
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偏振相关的衍射特性 &kYg
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通过参数优化进行光栅设计 Z?CmD;W
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固定周期的2D参数优化 f!0* ^d
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制造公差分析–设计2 g}P.ksM
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变化光栅周期的3D参数优化 #3\F<AJ<VB
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制造公差分析 [#M^:Q
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VirtualLab Fusion中的工作流程 !#5RP5,,Y
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•构造光栅结构 gH(,>}{^K
−通过使用界面来配置光栅结构 Vf`1'GY
[用例] `Q' 0l},
•分析光栅衍射效率 /{."*jK
−光栅级次分析器[用例] #t>w)`bA-
•使用参数运行搜索初始解决方案 LIT{rR#8
−参数运行文档的使用[用例] B|/=E470G
•通过参数优化找到最终设计 *"d"
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VirtualLab Fusion技术 h%8[];*DpN
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