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当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 O emi }
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建模任务 7udMF3;>
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光栅特性与参数的严格分析 I.TdYSB
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不同光栅周期下的衍射效率 BpZE
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关于光栅周期选择的考虑 {^2``NYM_
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偏振相关的衍射特性 6lOT5C eJ"
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通过参数优化进行光栅设计 j'FSd*5m
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固定周期的2D参数优化 <QFT>#@T
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制造公差分析–设计2 ]:jP*0bLx
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变化光栅周期的3D参数优化 }A,9`
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制造公差分析 W5 ^eCYHoi
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VirtualLab Fusion中的工作流程 c-1,((p
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•构造光栅结构 shlMJa?
−通过使用界面来配置光栅结构 -{[5P!
[用例] e>z
•分析光栅衍射效率 (%.[MilxPM
−光栅级次分析器[用例] r,I';vm<`
•使用参数运行搜索初始解决方案 E;m]RtvH
−参数运行文档的使用[用例] Q(v*I&k
•通过参数优化找到最终设计 d [K71
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VirtualLab Fusion技术 @p`*MWU
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