摘要
N} Q, |,}QhR 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
K8e >sU. @h^5*M
B_}=v$ YK"({Z>U 建模任务
W>1\f0' |mci-ZT
+86\&y) 光栅特性与参数的严格分析
bS0^AVA NK,)"WE 不同光栅周期下的衍射效率
6 t A?<S p8F|]6Z
a?+) K Txp~&a03 关于光栅周期选择的考虑
'| Ag,x[ Q[~O`Lz
N<:Ra~Ay eZg31. 偏振相关的衍射特性
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Zc%S`zK`7 * z{D}L-&
J!yc9Q !4*@H
U?>zq!C&R }Pw5*duq 通过参数优化进行光栅设计
5i1 >z{ )03.6Pvs 固定周期的2D参数优化
T,H]svN5p c~$ipX
zb;2xTH+ 2D参数优化–设计1
dB_\,%vAd 7Y#b7H
>6<g5ps.n P *%bG 4 2D参数优化–设计2
8<_WtDg Ulktd^A\
S3 x:]E: .|iUDp6vz 制造
公差分析–设计2
JaIj9KLNX 0udE\/4!^
?Bh} v $pARt 变化光栅周期的3D参数优化
?V7[,I1? Oe;9[=L[
kWoy%?|RRa tX)]ZuEi$ 制造公差分析
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x,p|n kxf'_Nzy 走进
VirtualLab Fusion
H;$w^Tr XP(q=Mw
F92n)*[ F htf4 VirtualLab Fusion中的工作流程
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b!`:|!7r' 'z!I#Y!Y •构造光栅
结构 lGcHfW)Y −通过使用界面来配置光栅结构
Kvk;D ]$ [用例]
4vy!'r@ •分析光栅衍射效率
'nCBLc8 −光栅级次分析器[用例]
Dnd •使用参数运行搜索初始解决方案
ZZeqOu7^ −参数运行文档的使用[用例]
L8ZCGW\Rr •通过参数优化找到最终设计
{AcKBib <'gCI Ia2 VirtualLab Fusion技术
O %)+ w H=wmN0s{<