[技术]高效偏振无关透射光栅的分析与设计 [复制链接]

摘要 ccJ!N  
L }&$5KiwV  
当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)],  我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 \!,qXfTMB  
y w>T1  

图片:1-20021G15353423.png

#ZPy&GIr  
 B!+`km5  
建模任务 l/@t>%  
. [5{  

图片:1-20021G15419564.png

mLL?n)   
光栅特性与参数的严格分析 ]BBL=$*  
FT.;}!"l  
不同光栅周期下的衍射效率 Oa|'wh ug  
gv,8Wo  

图片:1-20021G15602G5.png

BjIKs~CT  
d}RR!i`<N  
关于光栅周期选择的考虑 q$6Tb  
i& ybvTl  

图片:1-20021G15641J8.png

"Rv],O"  
isR|K9qf^  
偏振相关的衍射特性 tN:PWj5  
5cE
?>  

图片:1-20021G15G0159.png

h$~\to$C  
ds"q1  

图片:1-20021G15I2201.png

+$H`/^a.  
&o$Pwk\p/  

图片:1-20021G15P2594.png

Zjx:1c= b  
7;;HP`vY  
通过参数优化进行光栅设计 v\:
P_J  
hIv8A_>@`  
固定周期的2D参数优化 JM-+p  
I?!7]Sn$  

图片:1-20021G15RaL.png

>|@i8?|E  
2D参数优化–设计1 wc#E:GJcK  
y,QJy=?  

图片:1-20021G15Z4258.png

D<d4"*qo  
*eonXJYD  
2D参数优化–设计2 .#[==  
WVfwt.Y  

图片:1-20021G20004394.png

vMB`TpZ  
eAD
uk!Iq  
制造公差分析–设计2 @fSBW+  
7r4|>F  

图片:1-20021G2002JX.png

<|MF\D'  
ij<6gv~ n"  
变化光栅周期的3D参数优化 UfWn\*J&k  
1||\3
L/  

图片:1-20021G20100c0.png

t/TWLhx/  
z nxAP|  
制造公差分析 qu:nV"~_  
8A ;)5!  

图片:1-20021G20120954.png

V"`t*m$  
3/i_?G  
走进VirtualLab Fusion *P.Dbb8vn  
?|;q=p`t-  

图片:1-20021G20141219.png

.!pr0/9B  
$|V@3`0  
VirtualLab Fusion中的工作流程 86AZ)UP2D  
d^sm;
f  

图片:1-20021G20205237.png

U$,W/G}m  
Dxlpo! ?#  
•构造光栅结构 j
aEUz5  
−通过使用界面来配置光栅结构 .h7`Q{  
[用例] b&j}f  
•分析光栅衍射效率 muJR~
4  
−光栅级次分析器[用例] AYP*J  
•使用参数运行搜索初始解决方案 9$[PAjwk  
−参数运行文档的使用[用例] Z=&cBv4Fs  
•通过参数优化找到最终设计 mhDC1lXF  
.*(xkJI3  
VirtualLab Fusion技术 Fb0r(vQ^  
y9xvGr[l  

图片:1-20021G2025W62.png