摘要
VFzIBgJ3 yRIXUCy 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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FWhr#5, 'y=N_/+s 建模任务
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6]4#8tR1_ 光栅特性与参数的严格分析
]Axz}: b\"w/'XX 不同光栅周期下的衍射效率
O =;jDWE dt^h9I2O
7}g4ePYag Bp3E)l 关于光栅周期选择的考虑
B]@25 cP D_=.&
IvT><8<G bMGn&6QiP[ 偏振相关的衍射特性
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Pc_aEBq tAF?.\x"g
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`^[Y2 c 通过参数优化进行光栅设计
P RWb6 o6d x\ 固定周期的2D参数优化
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gf1+yJ^d! 2D参数优化–设计1
'gvR?[!t l6y}>]
qh:Bc$S Aeb(b+= 2D参数优化–设计2
sl `jovT[Y =29IHL3
Fq@o_bI w y|^=#k 制造
公差分析–设计2
Q-n8~Ey1a pYx,*kG:HW
*y!O\-\S#> xwf-kwF8^ 变化光栅周期的3D参数优化
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pA6KiY& jYFJk&c 制造公差分析
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D &"D[|@ n7cy[%yT 走进
VirtualLab Fusion
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s*ZE`/SM3 4b`E/L}2 VirtualLab Fusion中的工作流程
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A T&?g)
IT1YF.i x,!Dd •构造光栅
结构 n^Ca?|}
, −通过使用界面来配置光栅结构
YV<y-,Io [用例]
^_;'9YD •分析光栅衍射效率
HOR8Jwf: −光栅级次分析器[用例]
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•使用参数运行搜索初始解决方案
u4C9ZYN −参数运行文档的使用[用例]
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Z •通过参数优化找到最终设计
vR!+ 8sy$ H#~gx_^U VirtualLab Fusion技术
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