摘要
@18}'k tX,x% ( 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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R6Pj"@0
\eRct_ D6C h6i5$ 建模任务
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k~fH:X~x 光栅特性与参数的严格分析
e{*yV#Wl wti 不同光栅周期下的衍射效率
~@T`0W-Py Hxleh><c-
Py?Q:: 7<Y aw,G 关于光栅周期选择的考虑
nyBT4e 2^f7GP
*M$'dLn 5du xW>D 偏振相关的衍射特性
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\Pe+]4R-Xo :H+8E5
k+Z2)j" {kr14l*2
>2X-98, l kyK 通过参数优化进行光栅设计
}<*KM)% cH+ ~|3 固定周期的2D参数优化
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Fh|{ib 2D参数优化–设计1
usC$NVdm z%\&n0
!(Y,2{ ;k,@^f8 2D参数优化–设计2
v *`M3jb IIAmx[ b
P+QL||>L ''3I0X*! 制造
公差分析–设计2
g!9|1z u(\O@5a
qB&Je$_uh ?nWzJ5w3 变化光栅周期的3D参数优化
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4S[UJ% (t@:dW 制造公差分析
v G9>e&Be G8!|Lo
OkfxX&n m;t&P58f 走进
VirtualLab Fusion
MH9vg5QKp ,Q0H)//~
mrr~ #Bb> / :6|)AW.{ VirtualLab Fusion中的工作流程
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s~ 0G0(g,3p
k[,0kP; 8@RtL,[d •构造光栅
结构 > >KCd −通过使用界面来配置光栅结构
P,F
eF'J^ [用例]
e`OQ6|.k8 •分析光栅衍射效率
bdG@%K', −光栅级次分析器[用例]
* ^V?u •使用参数运行搜索初始解决方案
9%1J..c −参数运行文档的使用[用例]
CPMGsW^ •通过参数优化找到最终设计
YPf? 8/&4l,M5 VirtualLab Fusion技术
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