摘要 a!&bc8J7
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当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 <Nvlk\LQ
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建模任务 9#ZzE/
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光栅特性与参数的严格分析 kja4!_d
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不同光栅周期下的衍射效率 Sb^a dd0dT
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关于光栅周期选择的考虑 $#D
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偏振相关的衍射特性 er#8D6*
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通过参数优化进行光栅设计 cb\jrbj6
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固定周期的2D参数优化 ?T tQZ
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2D参数优化–设计1 y>DfM5>
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变化光栅周期的3D参数优化 Ukk-(gjX
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制造公差分析 7j9D;_(.^$
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VirtualLab Fusion中的工作流程 l%-67(
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•构造光栅结构 rf1wS*uU+
−通过使用界面来配置光栅结构 sRo<4U0M;l
[用例] _qO;{%r
•分析光栅衍射效率 bc0)'a\
−光栅级次分析器[用例] r|
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•使用参数运行搜索初始解决方案 HJ2]Nz:
−参数运行文档的使用[用例] *@$($<pY&
•通过参数优化找到最终设计 #cSw"A
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VirtualLab Fusion技术 }`+^|1
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