摘要 dayp1%d
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当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 YF/@]6j
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建模任务 y\0<f `v6
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光栅特性与参数的严格分析 f5D.wSY
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不同光栅周期下的衍射效率 jCdKau&9
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关于光栅周期选择的考虑 qZRx,^gd
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偏振相关的衍射特性 H{|a+
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通过参数优化进行光栅设计 INwc@XB
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固定周期的2D参数优化 /Z<" 6g?
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制造公差分析 g#FqjE|mx
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走进VirtualLab Fusion Y.rHl4
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VirtualLab Fusion中的工作流程 %_+9y??
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•构造光栅结构 mm%w0dOb"
−通过使用界面来配置光栅结构 qcke8Q
[用例] <Xw 6m$fr:
•分析光栅衍射效率 *sf9(%j
−光栅级次分析器[用例] lj%8(X u
•使用参数运行搜索初始解决方案 R@>R@V>c
−参数运行文档的使用[用例] Faa:h#
•通过参数优化找到最终设计 T,(IdVlJ
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VirtualLab Fusion技术 Wf_aEW&n
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