[技术]薄元近似（TEA）与傅立叶模态方法（FMM）在光栅建模中的对比 [复制链接]

摘要 Udg& eEF  
23,%=U  
薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 ejDCmD  
6qY\7R2+  
`mQP{od?"?  
     `8qT['`#R  
建模任务 s n=zh1 A  
#.RG1-L  
Nt?2USTs-  
:tg@HyY)  
正弦光栅—效率与高度（TEA） _?*rtDzIM  
[+Yl;3&]  
`mh-pBVD1  
k,yc>3P;U  
正弦光栅—透射相位曲线 ZA) SJWwD  
{.0X[uAf  
oR!n bm  
ze-TBh/  
正弦光栅—透射相位曲线 v[p/c.p?i  
MLEIx()  
RcKQER  
OYQXi  
正弦光栅—衍射效率 o9DYr[  
dVjcK/T<  
|8&\
N  
_3-RoA'UZr  
正弦光栅—效率与周期 p=#'B*'w  
&/z
+A{Hi  
g]oc(RM  
dlU JYI  
正弦光栅—特定周期下的相位曲线 jb#1&L14  
#3 }5cC8_  
?[a7l:3-[  
`!5tH?bX  
闪耀光栅—效率与高度（TEA） 8YT_DM5iI  
'b?#4rq}  
Cw9@2E'b  
uyS^W'fF  
闪耀光栅—透射相位曲线 %B*<BgJ;4F  
6&/ Ew4 e  
"W3n BaG  
4w?]dDyc%  
闪耀光栅—衍射效率 uM}dZp 1  
&-=G9sb,  
;%3thm7+  
QI :/,w  
闪耀光栅—效率与周期 {d*qlztO  
k*zc5ev}  

8k*  
F|h,a;2  
闪耀光栅—特定周期下的相位曲线 CrQA :_Z(7  
`% #zMS  
|zRoXO`]-*  
-=v/p*v0o  
VirtualLab Fusion一瞥 E@'CU9Fo  
x3p;H02i\  
*cI6&;y  
"`V"2zZlj  
VirtualLab Fusion工作流程                                   y~#R:&d"  
H *z0xxa  
• 设置光栅结构 8)ebXc  
−使用界面配置光栅结构[用户案例] =%#$HQ=  
• 分析光栅衍射效率 s$+: F$Y0  
−光栅阶次分析器[用户案例]  5K_N  
• 通过参数运行检查不同参数的影响
C4X{Ps\  
− 利用参数运行文档[用户案例] GFy0R"&d[  
1,*Z_ F=y  
dmTW]P2  
2+
r)VF:  
VirtualLab Fusion技术 B[U.CAUn  
,sRrV $,"