摘要
lDs C>L-F cr^R9dv 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶
光学计算
光栅的
衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。
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:[Ie0[H/M ~"h V-3U 建模任务
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j EV~?]Kt~ 正弦光栅—效率与高度(TEA)
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\/r]Ra @_h=,g#@ 正弦光栅—透射相位
曲线 4_4|2L3 >SD?MW1E
<-Ax)zE CTc#*LJx>j 正弦光栅—透射相位曲线
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ck8Qs08 M/}i7oS] 正弦光栅—衍射效率
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&hzr(v~; 1oG'm 正弦光栅—效率与周期
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X-%91z:o58 4o@^._-R 正弦光栅—特定周期下的相位曲线
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c* )PS`]t (HeIO 闪耀光栅—效率与高度(TEA)
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/?6 v/3Vsd 闪耀光栅—透射相位曲线
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o(xt%'L`t 6Kd,(DI 闪耀光栅—衍射效率
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e\]CZ5hs3 "3NE%1T 闪耀光栅—效率与周期
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$yMNdBI[ $60]RCu 闪耀光栅—特定周期下的相位曲线
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g0RfvR O,7*dniH VirtualLab Fusion一瞥
&4Y@-;REt +RD{<~i
gUv`G )<%IY&\ VirtualLab Fusion工作流程
7p,!<X}% $C6O<A • 设置光栅
结构 rh(77x1|(G −使用界面配置光栅结构[用户案例]
IZ+ZIR@}ci • 分析光栅衍射效率
:FI4GR*? −光栅阶次分析器[用户案例]
u-~?ylh • 通过
参数运行检查不同参数的影响
2aW"t.[j − 利用参数运行文档[用户案例]
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+?bOGUik |", / VirtualLab Fusion技术
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