摘要 3?s ?XAh
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薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 #9LzY
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正弦光栅—透射相位曲线 hD<f3_k
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正弦光栅—特定周期下的相位曲线 C/v}^#cLD
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闪耀光栅—效率与高度(TEA) (3EUy"z-
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闪耀光栅—透射相位曲线 9|!j4DS<
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闪耀光栅—衍射效率 F1A1@{8bN
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闪耀光栅—效率与周期 sS,#0Qt.
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闪耀光栅—特定周期下的相位曲线 D&[Z;,CHMA
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VirtualLab Fusion一瞥 H,>#|F
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VirtualLab Fusion工作流程 A'DVJ9%xB
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• 设置光栅结构 ]M4NpUM
−使用界面配置光栅结构[用户案例]
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• 分析光栅衍射效率 [(cL/_
−光栅阶次分析器[用户案例] 4
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• 通过参数运行检查不同参数的影响 dB`b9)Tk0z
− 利用参数运行文档[用户案例] Mj~${vj
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VirtualLab Fusion技术 ${e&A^h
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