摘要
sFM>gG QqK{~I|l 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶
光学计算
光栅的
衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。
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Y1_6\zpA h8= MVh(I 建模任务
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a~*58 正弦光栅—效率与高度(TEA)
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0/00W6r0 f+aS2k(e> 正弦光栅—透射相位
曲线 fRa-bqQ {S"
KYmWfM3^ C`~4q<W' 正弦光栅—透射相位曲线
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; z'}= A 正弦光栅—衍射效率
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>-|90CSdSJ $h]Y<&('G 正弦光栅—效率与周期
&~JfDe9IS +yP[(b/
)bCG]OM7< IU'!?XVo 正弦光栅—特定周期下的相位曲线
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Vh.;p.!e ;$tv8%_L[ 闪耀光栅—效率与高度(TEA)
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$7gB&T.x SL\y\GaV 闪耀光栅—透射相位曲线
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vPl6Dasr id#k!*$7 闪耀光栅—衍射效率
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I 闪耀光栅—效率与周期
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3e!Yu.q: JPT I6"/ 闪耀光栅—特定周期下的相位曲线
<GT>s .iP G /e
;/)Mcx] n ),y!<\oQ VirtualLab Fusion一瞥
5Du>-.r |p8"9jN@}c
#-gGsj;F !AD0-fZ VirtualLab Fusion工作流程
Ky'3z" (9YYv+GGd* • 设置光栅
结构 '[=yfh −使用界面配置光栅结构[用户案例]
pT
ocqJ22 • 分析光栅衍射效率
VNxpOoV=S −光栅阶次分析器[用户案例]
Lr24bv\ • 通过
参数运行检查不同参数的影响
%+7T9>+ − 利用参数运行文档[用户案例]
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mOz&6T<| mS)|6=Y VirtualLab Fusion技术
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