摘要 d~QJ}a
99]s/KD2yb
薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。
=&qfmq
a{%EHL,F
v]KPA.W
h\Zh^B6J
建模任务 YhAO
r8FAV9A
<8Z%'C6d
P/]8+_K
正弦光栅—效率与高度(TEA) A^0-%Ygl
9+5F(pd(
[`KQ\4u
7Bf4ojKt
正弦光栅—透射相位曲线 6G-XZko~a
b
Hy<`p0
WFS6N.Ap
2elj@EB,M
正弦光栅—透射相位曲线 ?q5HAIZ`
"e29j'u!*
m^)\P?M5|
6jl{^dI
正弦光栅—衍射效率 Q-U,1b
8@T0]vH&
F1`mq2^@
WFqOVI*l
正弦光栅—效率与周期 lWf(!=0m
*y>|
&N%-.&t'
!yV)EJ:$
正弦光栅—特定周期下的相位曲线 g)MLgjj
/`O'eH
x}reeqn
^4saB+qm
闪耀光栅—效率与高度(TEA) -OfAl~ 4
x_H"<-By
xlW>3'uHfa
FOcDBCrOe
闪耀光栅—透射相位曲线 I+Fr#1
Yt4v}{+
Uf$IH!5;Z
E
6!V0D
闪耀光栅—衍射效率 W*4!A\K
<)@^TRS
zH@+\#M
{Z[kvXf"mZ
闪耀光栅—效率与周期 ACgWT
ZPY84)A_}
,z0E2
dBW#PRg
闪耀光栅—特定周期下的相位曲线 "n<u(m8E
9x9E+DG#(
uQW d1>
b55G1w
VirtualLab Fusion一瞥 a\I`:RO=<Z
I]ol[
X0S
Fd9Z7C
UX'tdB
!A
VirtualLab Fusion工作流程 HYg7B
'wTJX>
• 设置光栅结构 NMP*q
@
−使用界面配置光栅结构[用户案例] *P[N.5{
• 分析光栅衍射效率 F=kiYa}
−光栅阶次分析器[用户案例] aK9zw
• 通过参数运行检查不同参数的影响 VU|Cct&)
− 利用参数运行文档[用户案例] k${F7I(Tb
%M05& <
N{zou?+
N/AP8
VirtualLab Fusion技术 /M_kJe,%
C6b(\#g(