[技术]薄元近似（TEA）与傅立叶模态方法（FMM）在光栅建模中的对比 [复制链接]

摘要 ~IBP|)WA-  
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薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 Ai?*s%8v  
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建模任务 Hd ={CFip  
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正弦光栅—效率与高度（TEA） '4Bm;&6M  
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正弦光栅—透射相位曲线 <=/hil  
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正弦光栅—效率与周期 iz PDd{[  
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闪耀光栅—效率与高度（TEA） :':s@gqr  
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闪耀光栅—衍射效率 @lrztM
 
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闪耀光栅—效率与周期
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闪耀光栅—特定周期下的相位曲线 c4eBt))}V  
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VirtualLab Fusion一瞥 I:1C8*/  
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VirtualLab Fusion工作流程                                   4O!ikmY:t  
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• 设置光栅结构 e8?jmN`2  
−使用界面配置光栅结构[用户案例] 6A+nS=  
• 分析光栅衍射效率 Ne1$ee.NE  
−光栅阶次分析器[用户案例] _ *Pf  
• 通过参数运行检查不同参数的影响 i2SR{e8:GF  
− 利用参数运行文档[用户案例] dJNe+ MB`  
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VirtualLab Fusion技术 ^RIl  
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