摘要 \ E[0KvN;O
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薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 <pK;D
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正弦光栅—特定周期下的相位曲线 yKDg
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闪耀光栅—效率与高度(TEA) J
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闪耀光栅—透射相位曲线 Ai#W.
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闪耀光栅—特定周期下的相位曲线 ;'=!Fv
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VirtualLab Fusion一瞥 ;y"E}h
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VirtualLab Fusion工作流程 2! &:V]
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• 设置光栅结构 Q
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−使用界面配置光栅结构[用户案例] Ev$?c9*>
• 分析光栅衍射效率 }\l5|Ft[!
−光栅阶次分析器[用户案例] 1j0yON
• 通过参数运行检查不同参数的影响 8a-[Q
− 利用参数运行文档[用户案例] ,`-6!|:
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VirtualLab Fusion技术 =;@5Ue
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