摘要
0,")C5j lo+A%\1 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶
光学计算
光栅的
衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。
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e"<OELA |{ip T SH 建模任务
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7.oM J k,*XG$2h 正弦光栅—效率与高度(TEA)
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7[)E>XRE e^voW"?% 正弦光栅—透射相位
曲线 /N{*"s2) !Uo4,g6r+
WyiQoN'q upmx $H> 正弦光栅—透射相位曲线
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59u}W 0 ^cWnF0)j. 正弦光栅—衍射效率
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2uZ$X 9(Xn>G'iT 正弦光栅—效率与周期
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At;LO9T3z :A;RH 正弦光栅—特定周期下的相位曲线
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]SEZaT -~w'Xo # 闪耀光栅—效率与高度(TEA)
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XWw804ir n6v6K1 VirtualLab Fusion一瞥
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zuCSj~ %iB,IEw VirtualLab Fusion工作流程
+7}]E1Uf V]^$S"Tv • 设置光栅
结构 EQ_aa@M7 −使用界面配置光栅结构[用户案例]
2<3K3uz • 分析光栅衍射效率
xSu > −光栅阶次分析器[用户案例]
F'Z,]b'st3 • 通过
参数运行检查不同参数的影响
d;>QhoiL − 利用参数运行文档[用户案例]
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FI.\%x < %Y}R\s? VirtualLab Fusion技术
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