[技术]薄元近似（TEA）与傅立叶模态方法（FMM）在光栅建模中的对比 [复制链接]

摘要 |*Z$E$k:  
^`un'5Vk  
薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 mc=LP>uoS  
~wg:!VWA)  
zvABU+{jD  
     V5+SWXZ  
建模任务 @SCI"H%[  
:0Z^uuk`gq  
"KcA  
c/c$D;T  
正弦光栅—效率与高度（TEA） N0hE4t  
f{SB1M   
YK|bXSA[  
^u3V E  
正弦光栅—透射相位曲线 hW{j\@R  
x.Q&$#  
&-(463  
Kw#so; e  
正弦光栅—透射相位曲线 /cc\fw1+  
 >S$Z  
gV&z2S~"  
.<kqJ|SVi  
正弦光栅—衍射效率 'SQG>F Uy  
hiNEJ_f  
l5L.5$N  
=zwOq(Bh W  
正弦光栅—效率与周期 ^CwR!I.D}4  
!w&kyW?e  
R<B7K?SxV~  
 i2~  
正弦光栅—特定周期下的相位曲线 cwGbSW$t  
`/Y{ l  
Df3rV'/~  

R8.CC1Ix  
闪耀光栅—效率与高度（TEA） Y@PI {;!  
2NB L}x  
q^6+!&"  
V!)O6?l  
闪耀光栅—透射相位曲线 j0@[Br%7  
42]pYm(jk3  
DY[$"8Kxcp  
qCv20#!"|  
闪耀光栅—衍射效率 RT%pDym\  
'M3">$N  
ZE%
YXG  
Y!;|ld  
闪耀光栅—效率与周期 z({hiVs  
J,b&XD@m  
c'*a{CV4P  
WJ*n29^N^h  
闪耀光栅—特定周期下的相位曲线 6oui]$pH  
EUIIr4]  
MxBTX4ES  
3"F`ZJ]=  
VirtualLab Fusion一瞥 xLx]_R()  
j(~ *'&|(  
4b:s<$TZ  
m*mm\wN5  
VirtualLab Fusion工作流程                                   NV#FvM/#"  
D-,L&R!`  
• 设置光栅结构 IgC}&  
−使用界面配置光栅结构[用户案例] ^B+!N;  
• 分析光栅衍射效率 %Q!`NCe+[  
−光栅阶次分析器[用户案例] Mg^e3D1_  
• 通过参数运行检查不同参数的影响 Un6/e/6,  
− 利用参数运行文档[用户案例] =|=.>?t6Z0  
29reG,>  
t=xOQ8  
r7Ya\0gU  
VirtualLab Fusion技术 Oh4AsOj@  
RxQh2<?