摘要
AC\y|X8- ? o&goiM 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶
光学计算
光栅的
衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。
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Uw]o9 e0S O2":)zU. 建模任务
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]Exbuc 0 .UN 正弦光栅—效率与高度(TEA)
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曲线 ly69:TR7I j<QK1d17
fRxn,HyV n2dOCntN> 正弦光栅—透射相位曲线
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gil:SUW1r vTo+jQs^ 正弦光栅—效率与周期
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WL|71?@C fu{v(^ 正弦光栅—特定周期下的相位曲线
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[0 rH/{ MskOPg 闪耀光栅—效率与高度(TEA)
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闪耀光栅—透射相位曲线
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;1s;" 4`'Rm/) 闪耀光栅—衍射效率
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I *f@M} 1H\5E~X VirtualLab Fusion一瞥
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!]9qQ7+R% ?=1i:h VirtualLab Fusion工作流程
i+Mg[x$. *=]UWM~] • 设置光栅
结构 1vAJ(O{- −使用界面配置光栅结构[用户案例]
QxuU3#l • 分析光栅衍射效率
~OLyG$JJ −光栅阶次分析器[用户案例]
uKTYb#E7 • 通过
参数运行检查不同参数的影响
6ZwQ/~7H − 利用参数运行文档[用户案例]
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E(z|LS*3 "Er8RUJA VirtualLab Fusion技术
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