[技术]薄元近似（TEA）与傅立叶模态方法（FMM）在光栅建模中的对比 [复制链接]

摘要 u.GnXuax  
!T`oHs  
薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。  %!<Y  
yajdRU  

图片:1-200423121221J1.png

5RP kAC  
     9ddrtJ]  
建模任务 p%Z:SZZ  
<CyU9`ye  

图片:1-200423121253U8.png

))"gWO  
"n%s>@$  
正弦光栅—效率与高度（TEA） |bY@HpMp  
m@Z
#  

图片:1-2004231214052W.png

ORExI.<`W  
uZ+bo&  
正弦光栅—透射相位曲线 PF%-fbh!~  
my?Ly(#  

图片:1-20042312143L47.png

&`r/+B_W  
_'=,c"  
正弦光栅—透射相位曲线 y{ur'**l  

~aob@(  

图片:1-20042312145D28.png

#EPC]jFk  
zPby+BP  
正弦光栅—衍射效率 6mM9p)"$  
Rf:.'/<
^  

图片:1-200423121551500.png

HlGSt$woX  
(>al-vZ6A  
正弦光栅—效率与周期 =Hi@q "  
4>KF`?%4  

图片:1-200423121614403.png

`/8@Fj  
,d#
*i  
正弦光栅—特定周期下的相位曲线 'cD?0ou`o  
M+/G>U  

图片:1-200423121639445.png

kaBjA*  
EQ1**[$  
闪耀光栅—效率与高度（TEA） >e;-$$e  
Tgdy;?  

图片:1-200423121F1Z8.png

owAO&"C  
$L
/`nd  
闪耀光栅—透射相位曲线 (80m'.X  
 W2vL<  

图片:1-200423121H4Q5.png

{9x_E {  
]E`<8hRB  
闪耀光栅—衍射效率 qN!oN*  
=nEP:7~{  

图片:1-200423121K2245.png

zx.
qN  
B8@mL-Z-;  
闪耀光栅—效率与周期 &
LLU@|  
uFkl^2  

图片:1-200423121Q3949.png

;ArwEzo(  
!_Lmrs  
闪耀光栅—特定周期下的相位曲线 F? #3  
NoI|Dz  

图片:1-200423121S6220.png

pj>R9zpn_  
/3b*dsYsl  
VirtualLab Fusion一瞥 SI7rTJ]/  
1NZ"\9=U  

图片:1-200423121U54Z.png

q}{E![ZTu  
U&^q#['  
VirtualLab Fusion工作流程                                   kCB
tK?g  
q W(@p`  
• 设置光栅结构 QS#@xhH  
−使用界面配置光栅结构[用户案例] T ,lM(2S[  
• 分析光栅衍射效率 =2R4Z8
G  
−光栅阶次分析器[用户案例] ;:;E|{e  
• 通过参数运行检查不同参数的影响 xGd60"w2  
− 利用参数运行文档[用户案例] "Y&I#&$b\  
o@meogkL  

图片:1-200423121956211.png

1Bytu >2  
J%&LQ9  
VirtualLab Fusion技术 y{<e4{ !  
:'%6
  

图片:1-200423122021110.png