摘要 7RpAsLH=
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薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 eV"Za.a.
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建模任务 X:/Y^Xu
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正弦光栅—特定周期下的相位曲线 %fzZpd]v=,
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闪耀光栅—效率与高度(TEA) 3B^`xnV
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闪耀光栅—透射相位曲线 MmL)CT
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VirtualLab Fusion一瞥 J =j6rD
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VirtualLab Fusion工作流程 hALg5.E{T
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• 设置光栅结构 ^v+3qm@,
−使用界面配置光栅结构[用户案例] 'G>gNq
• 分析光栅衍射效率 o)}M$}4
−光栅阶次分析器[用户案例] J.;{`U=:
• 通过参数运行检查不同参数的影响 9=FqI50{
− 利用参数运行文档[用户案例] NB@TyU
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VirtualLab Fusion技术 WNo",Vc
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