[技术]薄元近似（TEA）与傅立叶模态方法（FMM）在光栅建模中的对比 [复制链接]

摘要 8+gti*C?\  
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薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 d`M]>EDXp  
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建模任务 }\p>h  
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正弦光栅—效率与高度（TEA） Mwm=r//  
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正弦光栅—透射相位曲线 ~}B6E)   
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正弦光栅—衍射效率 fWr6f`de  
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正弦光栅—效率与周期 >,ThIwRN  
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正弦光栅—特定周期下的相位曲线 uydy[n\
  
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闪耀光栅—效率与高度（TEA） }]8n3&*  
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闪耀光栅—透射相位曲线 QFg,pTj  
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闪耀光栅—衍射效率 OHz>B!`  
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闪耀光栅—效率与周期 ^qs{Cf$  
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闪耀光栅—特定周期下的相位曲线 $
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VirtualLab Fusion一瞥
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VirtualLab Fusion工作流程                                   R@h@@lSf  
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• 设置光栅结构 UfE41
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−使用界面配置光栅结构[用户案例] >a5M:s)  
• 分析光栅衍射效率 f87>ul!*  
−光栅阶次分析器[用户案例] EYe)d+E*  
• 通过参数运行检查不同参数的影响 a@1r3az  
− 利用参数运行文档[用户案例] Ch`nDIne  
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