摘要
sLJ]N0t `?WN*__[" 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶
光学计算
光栅的
衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。
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OI"g-+~ G!=(^G@J; 正弦光栅—效率与高度(TEA)
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" 正弦光栅—衍射效率
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~*y7%L4B +J;b3UE# 闪耀光栅—效率与高度(TEA)
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_z%~m2SP 4guR8 elM VirtualLab Fusion一瞥
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Cg~1<J?2 V_m!<sr ( VirtualLab Fusion工作流程
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(htR • 设置光栅
结构 ||TZ[l −使用界面配置光栅结构[用户案例]
_K{-1ZYsi • 分析光栅衍射效率
`uk=2k}&m −光栅阶次分析器[用户案例]
}1[s , • 通过
参数运行检查不同参数的影响
\ >wQyz − 利用参数运行文档[用户案例]
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i%<NKE;v7m ;/wH/!b VirtualLab Fusion技术
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