[技术]薄元近似（TEA）与傅立叶模态方法（FMM）在光栅建模中的对比 [复制链接]

摘要 sD.bBz  
jpqq>Hbg_  
薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 50(/LV1  
qu8i Jq  
/J8AnA1  
     viAvD6e  
建模任务 Rs:<'A  
0yXUVKq3  
>>wbyj8  
rB}UFS)  
正弦光栅—效率与高度（TEA） !J[3U   
BSG_),AH  
hZ.Sj~>7`  
R)t"
`'6|  
正弦光栅—透射相位曲线 rSB"0W7  
{SW104nb&#  
J /'woc  
S)z jfJR  
正弦光栅—透射相位曲线 fSl+;|Kn  
%$I\\qq>{  
J}TS-j0  
Y*3qH
]  
正弦光栅—衍射效率 Fm{Ri=X<:  
tsU.c"^n  
GdR>S('  
?};}#%971  
正弦光栅—效率与周期 BXaA#} ;e  
yEtSyb~GK  
JTpKF_Za<  
KSuP'.l  
正弦光栅—特定周期下的相位曲线 ,m!j2H}8  
bP6QF1L  
`,aPK/  
WYwsTsG{_  
闪耀光栅—效率与高度（TEA） [Zl  
Qwk  
18Pc4~>0  
*(s+u~, I  
闪耀光栅—透射相位曲线 OAR1u}  
75@){ :  
V{$(#r  
0X`Qt[  
闪耀光栅—衍射效率 Mvrc[s+o  
s9~W( Wi  
4 Yc9Ij  
DL|,:2`  
闪耀光栅—效率与周期 u1ggLH!U  
[U]*OQH`e  
wQ*vcbQX*  
Q4TI '/  
闪耀光栅—特定周期下的相位曲线 Y1H8+a5@  
`z-4OJ8~  
8Cs)_bj#!  
K&9|0
xt  
VirtualLab Fusion一瞥 wS <d8gw  
}/B
  
7tfMD(Q]e/  
^u:7U4  
VirtualLab Fusion工作流程                                   782be-n  
-
B9C2  
• 设置光栅结构 za1MSR  
−使用界面配置光栅结构[用户案例] F5gL-\6  
• 分析光栅衍射效率 R(kr@hM
 
−光栅阶次分析器[用户案例] n wToZxHZ~  
• 通过参数运行检查不同参数的影响 ,<zGvksk  
− 利用参数运行文档[用户案例] >1,.4)k%K  
~{0:`)2FQ  
h$DFp  
EJ.oq*W!*J  
VirtualLab Fusion技术 7qA0bUee5  
^L+*}4Dr