[技术]薄元近似（TEA）与傅立叶模态方法（FMM）在光栅建模中的对比 [复制链接]

摘要 p&4#9I5  
vhaUV#V"  
薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 Yt% E,U~g  
u{"@ 4  
#w:6<$  
     *S$`/X  
建模任务 mbm|~UwD  
*)H&n>"e  
)ls<"WTC.  
z`Cq,Sz/  
正弦光栅—效率与高度（TEA） G oJ\6&"  
&?@5G  
byUz  
Jxy94y*  
正弦光栅—透射相位曲线 ;r}>1LhN  
Md4JaFA(  
"TgE@bC  
o)hQ]d  
正弦光栅—透射相位曲线 xHMbtY  
"p{cz(  
&^W91C?<6  
t%f6P  
正弦光栅—衍射效率 (~<9\ZJs  
td6$w:SN,l  
T)NnWEB  
C*I~14  
正弦光栅—效率与周期 #
=hI}%n  
G$"$k=[  
Ydr
/ T/1  
Cp@' k;(  
正弦光栅—特定周期下的相位曲线 AqzPwO^  
o?$
B<Cb"  
Lz9t9AoB  
=(~UK9`  
闪耀光栅—效率与高度（TEA） bf3Njma%  
k'K&GF1B  
Z$? Ql@M  
0`
{6~p  
闪耀光栅—透射相位曲线 @!:~gQ  
NZyGC Vh@  
rK\)  
x{X(Y]*1S  
闪耀光栅—衍射效率 ~Zc=FP:1  
xjOj1Hv  
h
o7L@NR  
YYz,sR'%|}  
闪耀光栅—效率与周期 \p-3P)U  
DUk&`BSJ  
4X@ <PX5  
R`wL%I!?f  
闪耀光栅—特定周期下的相位曲线 ]Fc<%wzp  
cGhnI&  
#S/]=D  
)Qe4J0.  
VirtualLab Fusion一瞥 G $TLWfm  
D~~&e<v'1  
s0 ZF+6f  
*Op;].>E  
VirtualLab Fusion工作流程                                   iINd*eXb^  
)x/Spb  
• 设置光栅结构 brA\Fp^  
−使用界面配置光栅结构[用户案例] FYI*44E  
• 分析光栅衍射效率
+0016UgS#  
−光栅阶次分析器[用户案例] bqHR~4 #IR  
• 通过参数运行检查不同参数的影响 i(
^&ZmG  
− 利用参数运行文档[用户案例] L7
*,v5  
R\%&Q|  
v)*/E'Cr*  
HJVi:;o  
VirtualLab Fusion技术 (j^Qa~{mG4  
]xlV;m