摘要 9} M?P
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薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 =BAW[%1b
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VirtualLab Fusion一瞥 $@Rxrx_@M
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VirtualLab Fusion工作流程 X_ cV%#
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• 设置光栅结构 /-ch`u md
−使用界面配置光栅结构[用户案例] be{H$9'
• 分析光栅衍射效率 HU}7zK2
−光栅阶次分析器[用户案例] 7 60Y$/Wz
• 通过参数运行检查不同参数的影响 ^f
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− 利用参数运行文档[用户案例] L9\1+rq
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VirtualLab Fusion技术 |zNX=mAV
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