摘要 8:)[.
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薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 QT
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建模任务 LT>_Y`5>
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正弦光栅—效率与高度(TEA) a6cU<(WDeh
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正弦光栅—透射相位曲线 rsa_)iBC
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正弦光栅—衍射效率 4n@>gW
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正弦光栅—效率与周期 65JG#^)KaX
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正弦光栅—特定周期下的相位曲线 Y0kcxpK/
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闪耀光栅—效率与高度(TEA) R.2i%cU
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闪耀光栅—透射相位曲线 Te~jYkCd
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闪耀光栅—衍射效率 llR5qq=t
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闪耀光栅—效率与周期 E;4B!"Q8
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闪耀光栅—特定周期下的相位曲线 R!7--]Wcg
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VirtualLab Fusion一瞥 {+cx} `
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VirtualLab Fusion工作流程 EXjR&"R
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• 设置光栅结构 FZ<6 kk4
−使用界面配置光栅结构[用户案例] e 2NF.
• 分析光栅衍射效率 *y|w9rp
−光栅阶次分析器[用户案例] F=5vAv1
• 通过参数运行检查不同参数的影响 tj00xYY
− 利用参数运行文档[用户案例] 9}2/ko
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VirtualLab Fusion技术 <_pLmYI
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