[技术]薄元近似（TEA）与傅立叶模态方法（FMM）在光栅建模中的对比 [复制链接]

摘要 E~fb#6  
.x,y[/[[)  
薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 F%o!+%&7  
s9CmR]C  

图片:1-200423121221J1.png

Z^%a 1>`  
     nCWoco.xy  
建模任务 %\sE\]K  
.Vnb+o  

图片:1-200423121253U8.png

1_q!E~)  
\|QB;7u  
正弦光栅—效率与高度（TEA） ~nmFZ]y  
v/rBjUc+X  

图片:1-2004231214052W.png

\zg R]|  
}aE'  
正弦光栅—透射相位曲线 8CUtY9.  
uuwJ-  

图片:1-20042312143L47.png

kOD
=H-vSi  
ydO+=R0M  
正弦光栅—透射相位曲线 }#ta3 x  
06%-tAq:  

图片:1-20042312145D28.png

*`u|1}h|  
3\j`g  
正弦光栅—衍射效率 $RY-yKmi  
lkTA"8d  

图片:1-200423121551500.png

Z8bg5%  
"kFH*I+v  
正弦光栅—效率与周期 u3O@ccJ;  
:E6*m\X!3  

图片:1-200423121614403.png

H i8V=+  
Ly8=SIZ   
正弦光栅—特定周期下的相位曲线 }M%3  
^0|:  

图片:1-200423121639445.png

iu8Q &Us0P  
Mi|13[p{  
闪耀光栅—效率与高度（TEA） j#2Xw25  
"o`?-bQ:  

图片:1-200423121F1Z8.png

WJONk_WAc  
l3F$5n  
闪耀光栅—透射相位曲线 K)>F03=uE  
BT8)t.+
pv  

图片:1-200423121H4Q5.png

OXQA(%
MK  
^_@[1'^  
闪耀光栅—衍射效率 }YdC[b$j^  
oOND]>  

图片:1-200423121K2245.png

X[dfms;H  
!;&\n3-W  
闪耀光栅—效率与周期 tkHmH/'7  
B2]52Fg-"  

图片:1-200423121Q3949.png

<lIm==U<-  
i*:QbMb  
闪耀光栅—特定周期下的相位曲线 )r{Wj*u  
e`={_R{N  

图片:1-200423121S6220.png

K2x2Y=  
,v})  
VirtualLab Fusion一瞥 xS12$ib ~G  
w%qnH e9  

图片:1-200423121U54Z.png

hmkb!)  
D8,8j;  
VirtualLab Fusion工作流程                                   H}~K51  
80lhhqRC  
• 设置光栅结构 h.#:7d(g  
−使用界面配置光栅结构[用户案例] ]vf0f,F  
• 分析光栅衍射效率 !J;Bm,X
n6  
−光栅阶次分析器[用户案例] RRS)7fFm  
• 通过参数运行检查不同参数的影响 hu0z 36  
− 利用参数运行文档[用户案例] ~L<"]V+B  
tKUW  

图片:1-200423121956211.png

Xn=yC Pi  
:]F66dh+  
VirtualLab Fusion技术 lG0CCOdQ  
KH?6O%d  

图片:1-200423122021110.png