摘要
o\&~CW~@~ j]>=1Rd0b( 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶
光学计算
光栅的
衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。
Og=[4?Kpk {wcO[bN
&D]&UQf 'm[6v} 建模任务
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uWh|C9Y!A z9 O~W5-U 正弦光栅—效率与高度(TEA)
o/WC@!wg K N ,+(>?yE
vmvFBzLR 3&$Nd 正弦光栅—透射相位
曲线 wEE2a56L- #XcU{5Qm5
sllzno2bU
h20Hg|
正弦光栅—透射相位曲线
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正弦光栅—衍射效率
V'j@K!)~xR +ZclGchw
N};t<Xev +>4^mE" \ 正弦光栅—效率与周期
D;jK/2 |:N>8%@6c
#sZIDn J# 7lR<@$q 正弦光栅—特定周期下的相位曲线
c yP,[?N {c@G$
S.W^7Ap &L%Jy #= 闪耀光栅—效率与高度(TEA)
U;pe: /=TH08
` 5#hjLe a8zZgIV 闪耀光栅—透射相位曲线
TY~Vi OC 3b@VY'P
ETO$9}x[ 4%J|D cY2 闪耀光栅—衍射效率
g_vm&~U/' O#:&*Mv
j=9ze op
% e #M iaX 闪耀光栅—效率与周期
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i4<BDX5 =!CU $g 闪耀光栅—特定周期下的相位曲线
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TF\sP8>V W Y:s
gG VirtualLab Fusion一瞥
@1bH}QS 8_a3'o%5
TBnvV 5_ c+2sT3).D VirtualLab Fusion工作流程
6,+nRiZ gu<V(M\ • 设置光栅
结构 ertBuU −使用界面配置光栅结构[用户案例]
Kt6>L5:94 • 分析光栅衍射效率
=|,A%ZGF$ −光栅阶次分析器[用户案例]
#\ #3r • 通过
参数运行检查不同参数的影响
Ri @`a − 利用参数运行文档[用户案例]
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NXI[q'y !Lkm? (_ VirtualLab Fusion技术
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