摘要
:87HXz6]jS |:{H4 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶
光学计算
光栅的
衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。
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*\5o0~~8J -?K?P=B;X 正弦光栅—效率与高度(TEA)
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kpU-//lk+ u3XQ<N{Gj 正弦光栅—透射相位
曲线 $!-a)U,w$B k"V@9q;*
m@W\Pic,j. TiF2c#Q*y 正弦光栅—透射相位曲线
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)ZP-t!).G# .!&S{;Vv?W 正弦光栅—衍射效率
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\a|bx4M nGdEJ 正弦光栅—效率与周期
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1hT!~' YhzDi>hob 正弦光栅—特定周期下的相位曲线
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E{-W#}# U'8ub(:& 闪耀光栅—效率与高度(TEA)
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O [81nlhS0 /h!Y/\ kI 闪耀光栅—透射相位曲线
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Yiq8>| G \S >H 闪耀光栅—衍射效率
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mOUIGlv V=C@ocyZ 闪耀光栅—效率与周期
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t[.wx.y&0 y+C.2 ca 闪耀光栅—特定周期下的相位曲线
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LD~s@}yH> aC&ZV}8of VirtualLab Fusion一瞥
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?rD`'B 6#JdQ[IP6 VirtualLab Fusion工作流程
SseMTw: wK7wu. • 设置光栅
结构 A!K/92[#@ −使用界面配置光栅结构[用户案例]
~[mAv#d&i • 分析光栅衍射效率
{\?zqIM −光栅阶次分析器[用户案例]
\rw/d5. • 通过
参数运行检查不同参数的影响
p:hzLat~ − 利用参数运行文档[用户案例]
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r*'X ]q|L+ C XQPbt[5 VirtualLab Fusion技术
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