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薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 fg
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正弦光栅—效率与高度(TEA) :oJ!9\5
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正弦光栅—透射相位曲线 FOqD
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正弦光栅—透射相位曲线 C3; d.KlV
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正弦光栅—衍射效率 Q>\9/DjUp
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正弦光栅—效率与周期 r7v1q
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正弦光栅—特定周期下的相位曲线 vFK(Dx
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闪耀光栅—效率与高度(TEA) 1i
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闪耀光栅—透射相位曲线 bd`}2vr
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闪耀光栅—特定周期下的相位曲线 h?&S*)1
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VirtualLab Fusion一瞥 ]a\HgFp@
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VirtualLab Fusion工作流程 gz`P~7-w:
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• 设置光栅结构 BxGz4
−使用界面配置光栅结构[用户案例] O`='8'6zW\
• 分析光栅衍射效率 #jX%nqMxW
−光栅阶次分析器[用户案例] yyuf
• 通过参数运行检查不同参数的影响 @m ?&7{y#?
− 利用参数运行文档[用户案例] m-}6DN
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VirtualLab Fusion技术 sqk$q pV6
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