摘要
.05x=28n% StU9r0` 可用于严格分析
光栅效率。在
VirtualLab Fusion中,可以设置光栅
系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与
参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定
结构在不同配置下的性能。
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M"5S `ZGKM>q` 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)
z9JZV`dNgz S^_F0</U, 建模任务
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单次FMM仿真结果
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)f5 参数扫描(1D)
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zR5KC!xc XPT@ LM 参数扫描(2D)
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