摘要
L#vI=GpL,r tK&' <tZh 可用于严格分析
光栅效率。在
VirtualLab Fusion中，可以设置光栅
系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与
参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定
结构在不同配置下的性能。
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fu90]upz~ ?B :a|0pf 傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）
!9xp cQ> Y(44pA&oN 建模任务
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da (km+ !qX_I db\ 单次FMM仿真结果
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n> ^[T[.S 1UKg=A -q 参数扫描（1D）
(
H6c{'& :>+s0~ 
H<^/Ati,| 1 5A*7| 参数扫描（2D）
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