摘要
rZ^VKO`~I1 QDJe:\n 可用于严格分析
光栅效率。在
VirtualLab Fusion中,可以设置光栅
系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与
参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定
结构在不同配置下的性能。
H4JwgQ $BWA=2$
jK-usn H5?H{ 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)
]ppws3*Pa V.Qy4u7m 建模任务
z)XIA)i6 xzOM\Nq?O
X(fT[A_2C &U0Y#11Cx 单次FMM仿真结果
:`20i* Ur2)];WZ
C#D8
E.W >19j_[n@VC 参数扫描(1D)
gtw?u b (ixlFGvEq
vC ISd
EawtT 参数扫描(2D)
/F7X"_(H NGOyd1$7N