[技术]使用傅里叶模态法分析闪耀光栅 [复制链接]

摘要 w"j[c#vM  
u8[jD^
 
可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中，可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定结构在不同配置下的性能。 r$Y% 15JV  
}5ONDg(I~  

图片:1-20042G00011263.png

m*TJ@gI*t  
i)d'l<RA  
傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA） ;p)fW/<  
?s: 2~Qlu  
建模任务 s,GGO3^  
H3o Um1  

图片:1-20042G00040528.png

((Wq  
fehM{)x2:  
单次FMM仿真结果 FDRpK5cw  
{7o|*M  

图片:1-20042G00314295.png

zMN4cBL9m  
26c1Yl,DMn  
参数扫描（1D） ` _]tN  

t8b,@J`R  

图片:1-20042G00241125.png

aAkO>X%[  
Q,xKi|$r  
参数扫描（2D） 3?DM AV  
9Dy/-%Ut9  

图片:1-20042G0042K26.png