摘要
Y%cA2V\#m hQLx"R$ 可用于严格分析
光栅效率。在
VirtualLab Fusion中,可以设置光栅
系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与
参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定
结构在不同配置下的性能。
F"? *@L Q2WrB+/
@9P9U`ZP b6M)qt9R 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)
Q6<Uuiw 4U1fPyt 建模任务
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Pb&+(j ^7<m lr 单次FMM仿真结果
?PtRb:RHt D_kzR
7027@M?A? ,'DrFlI 参数扫描(1D)
MM$"6Jor Yzx0 [_'u
gxtbu$ 7n]%`Yb 参数扫描(2D)
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